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标题: 铝膜针孔是怎么形成的? [打印本页]

作者: huang12949 时间: 2007-6-5 19:17
标题: 铝膜针孔是怎么形成的?
如题!请大家帮忙讨论下,铝膜针孔是怎么形成的?

作者: zzzz 时间: 2007-6-6 08:01
污染
成膜工艺
.................................

作者: huang12949 时间: 2007-6-6 18:20
这样解释好像不是太全面.
污染导致膜附着力,再严重点是太多的麻点.
我说是针孔不是被膜料打陷进去的坑,而是透过反射镜可以看到针孔状透明.
我现在比较少,不是很明显,虽然客户可以接受,但仍然有,所以想大家有个较为全面较为理论的解释.这样才能找到问题根源.
感觉好像是成膜均匀度有关系,和基片架转速有关系,这些做过尝试,都不明显,所以纳闷.

作者: zzzz 时间: 2007-6-7 10:54
那就多镀点AL,把针孔盖住不就得了啊

作者: huang12949 时间: 2007-6-7 23:32
多镀点铝,似乎是有道理的,但是还是有针孔透明!

作者: huang12949 时间: 2007-6-22 18:10
找着针孔形成的原因了:
1,我用的是辉光放电,辉光放电有可能将腔体杂质溅到基底表面.
2,基底污染
3,基底本身表面有缺隙.
4,镀膜工艺等.

作者: hithy 时间: 2007-6-23 21:44
楼上说的很对，不过第四点有点笼统，hoho

作者: weizhong 时间: 2007-6-24 10:46
顶顶顶镀两遍就没有针孔了

作者: lbsdb 时间: 2007-6-24 21:39
镀两遍肯定是不行的了
附着力有问题不说，砂眼依然存在。
我认为解决炉体卫生是唯一的方法。
如果是连续设备就会好处理一些了。

作者: dianzikexue 时间: 2007-7-2 09:10
对啊主要是污染问题

作者: tfc 时间: 2007-7-2 17:47
6\9楼说的是一部分道理．这问题是复杂的，与ＡＬ的特性有关，仅仅清洗和调整蒸发参数是不行的．特别是阻蒸，ＥＢＧ就好些．

作者: tian831206 时间: 2007-7-7 15:25
膜层在成核时条件不好造成的

作者: 无语了 时间: 2008-1-7 04:25
请教下什么是辉光放电？？？？？？？？？？？

作者: gxbm 时间: 2008-1-7 10:28
先把真空室洗干净！！！

作者: z1206l 时间: 2010-6-29 17:28
单纯镀AL???
如果排除镀膜机的原因外，材料应该是需要特别考虑的。
应该需要加点“添加剂”什么的，改善一下特性。

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