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标题: 求助：薄膜理论厚度与与监控厚度的转换 [打印本页]

作者: wwl 时间: 2007-6-6 21:37
标题: 求助：薄膜理论厚度与与监控厚度的转换
膜系设计的理论厚度（物理厚度）与实际操作的监控厚度（石英晶阵）之间如何转换啊？

作者: zzzz 时间: 2007-6-7 10:49
晶控里不是有TOOLING的算法吗?
大家都不看说明书吗?

作者: tfc 时间: 2007-6-7 16:50
楼上说的对,因此,只要变TOOLING,想怎么换算都行.

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