光电工程师社区

标题: IR-CUT镀后麻点 [打印本页]

作者: OBC 时间: 2007-6-19 14:04
标题: IR-CUT镀后麻点
各位：帮忙分析下是那些原因导致IR-CUT镀后麻点，镀前经显微镜检查光洁度是OK的.谢了

作者: 终南子 时间: 2007-6-19 22:14
要说清楚一点了

作者: tfc 时间: 2007-6-20 15:02
你可以看关于喷点的文章,加上洁净、纯的膜料

作者: little-goat 时间: 2007-6-20 17:46
与使用膜料有关

作者: john03062003 时间: 2007-6-22 13:04
镀得层数多，麻点应该比较难以避免，如果腔内洁净的话，这与膜料的纯度，以及光斑质量和蒸发速率有很大关系。

作者: wazxq 时间: 2007-6-22 17:54
光洁度问题是一个很大的问题!!涉及比较多

作者: zzzz 时间: 2007-6-25 07:59
涉及太多
越深入越困难

作者: Ma_Malp 时间: 2007-6-25 14:03
还好此问题我已经基本上解决了,不过为了解决此问题公司还是花了不少地银子,哈哈(偷笑,反正花的不是自己的钱)

作者: weizhong 时间: 2007-6-26 15:20
处理好你的真空室环境，之后最好检查一下你的膜料看是否有污染,镀之前还要把膜料熔好才行，否则这几方面都会产生你出现的情况

作者: weizhong 时间: 2007-6-26 15:23
你的基片虽然是洗的很干净，但是当一开始抽真空的时候，镀膜机里擦不到的灰尘就会漫天飞舞吸附到你的基片上，所以你镀之前是否进行离子源或离子轰击处里

作者: weizhong 时间: 2007-6-26 15:24
有兴趣的话加我QQ53205486 13622044351

作者: zzzz 时间: 2007-6-27 08:43
8楼的也不透露点诀窍给大家,
太不厚道了.

作者: qasy 时间: 2007-6-28 19:09
看镀前白片是不是洁净

作者: milkyway 时间: 2007-6-30 13:07
膜料工艺方面控制以下好

作者: fpding 时间: 2007-7-1 09:56
标题: 大家还是友好点吧
主要是镀膜材料的纯度，以及镀膜时的温度／真空度／膜腔的清洁度的问题，喷点问题

作者: huhu 时间: 2007-7-1 17:39
点子问题哪里都有，烦不烦，就看客户的要求了。

基板，洁净室，真空室，真空系统，材料纯度，材料预融，蒸发条件，坩埚种类（有些材料需要定制），电子枪控制系统，离子源，操作人员素质。。。

相关的条件尽量控制，相信点子问题都能逐步改善，除非客户要求实在太高。

作者: liquangxin_2008 时间: 2007-7-15 18:08

原帖由 huhu 于 2007-7-1 17:39 发表
点子问题哪里都有，烦不烦，就看客户的要求了。

基板，洁净室，真空室，真空系统，材料纯度，材料预融，蒸发条件，坩埚种类（有些材料需要定制），电子枪控制系统，离子源，操作人员素质。。。

相关的条件 ...

作者: dengyanzong 时间: 2007-7-24 16:56
镀得层数多，麻点应该比较难以避免，如果腔内洁净的话，这与膜料的纯度，与SiO2的蒸发速率有很大关系,使用的SiO2纯度一定要好！

作者: OBC 时间: 2007-7-24 19:18
感谢各位朋友为OBC支招，OBC在这里谢了

作者: zzzz 时间: 2007-7-25 11:11
其实家家都有点子问题,估计用VEECO的会好点.
所以人人为我,我为人人

作者: huang12949 时间: 2007-7-25 19:50
Ma_Malp (↑尐混疍‰)

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状态离线 #8使用道具发表于 2007-6-25 14:03 资料个人空间主页短消息加为好友
还好此问题我已经基本上解决了,不过为了解决此问题公司还是花了不少地银子,哈哈(偷笑,反正花的不是自己的钱)

说来听听怎么搞的，大家分享分享嘛

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