光电工程师社区

标题: 求助,为什么Ar流量开大,浓度反而降低了? [打印本页]

作者: killmeok 时间: 2007-8-11 10:04
标题: 求助,为什么Ar流量开大,浓度反而降低了?
我使用RGA分析,
Ar 流量 80sccm 测量的气体浓度 1.6*10-1帕
Ar 流量 150sccm 测量的气体浓度 9.0*10-1帕
为什么出现这种相反的情况呢?

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)