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标题: zro2,OH-5 光控极值变短了..... [打印本页]

作者: huang12949 时间: 2007-8-13 19:03
标题: zro2,OH-5 光控极值变短了.....
有一朋友昭和机2001年的五台机,向来生产正常,但最近突然在蒸发ZRO2,OH-5极值变短,通常1/4波长极值20START,STOP值在53%左右,这几天光控极值只能在38%左右.当然问题就大了,电子枪是JOE产电子枪.五台机有一台机是好的,所以排除膜料的问题.真空度无异常,电子枪参数也无变化,膜料熔出来也没有异常,光控灯光电压11.5V也是正常.水压值是正常的,但不知是不是冷却水管有水垢,今先对电子枪冷却水路做清理再看看情况.

欢迎大家也来踊跃发言.谢谢

作者: hydralisk-1 时间: 2007-8-14 12:35
不是很理解你的意思
是不是光量从20开始走1/4波长经过一各PEAK后，STOP光量值正常时为53%，但是现在只有38%左右？
你查下记录看，如果厚度是采用比值法控制的话，看下光量比值和正常的那台机有多大的差异？
我这边SHINCRON的设备，在生产也碰到这样的问题，光量起始值有变化，但是比值仍旧保持不变，对膜厚基本无影响。
我怀疑是监控片的问题比较大。你可以再仔细检查一下

作者: x_x_x_f 时间: 2007-8-14 14:41
五台昭和机。。。是否是豪雅的机子阿

作者: huang12949 时间: 2007-8-14 18:10
朋友这个公司有10台机子,两台日本真空技研的单层机,四台直径800的昭和机,二台直径1300的昭和机,二台直径800的ISO机.
主要问题出在四台多层机上.
监控片不可能,因为监控片是一个监控一层,且都是同批次的.
光控比值保持不变倒也问题不大,问题出在PEAK峰点上,正常的20起,峰值53左右正常,现在是40%不到.
因为我以前在这个公司做过两年所以比较熟.
我和朋友的结论是外设水和电的问题.或者是光控单色光栅控制电压影响了灵敏度,但如果是这样,其它膜料比如AL2O3也应该有问题.

作者: marcsle 时间: 2007-8-14 18:47
单色仪是否有问题？尤其是现在是三伏天，温度对其影响很大！

作者: x_x_x_f 时间: 2007-8-14 20:00
我的理解：首先从外围找原因。
1.水。
这四台机器的冷水系统是否和其他几台多层膜的几台共用冷水系统？如共用，可排除；
2.电
楼上的同志说了电子枪控制器的可能性。昭和的机器是用110V电源的吧，是否一些相关部件的电源除了问题？如电子枪控制器，单色仪；这四台机器的这些电源和其他机台是否共用？如共用，可排除；
3.气
氧气是共用的么？如果充氧的话。

其次从内在找原因。

光亮变短，从直观看就是ZrO2的真空折射率很低。是否有做过ZrO2单层看看折射率和吸收，这个可以大致判断机台抓的ZrO2的真空折射率是否准确。
如果抓得的不准确，说明是光控相关的部件出现问题，如光控相关部件的电源或冷水。我感觉这个可能性比较大；
如果抓的准确，这个就。。。。。除非不是氧化锆才能有这么低的折射率，或是吸收很大？不大清楚了，需要模拟一下吸收很大的氧化锆的单层对应的光亮走值。

以上供参考。祝楼主的朋友早日攻克难关！

作者: huang12949 时间: 2007-8-15 18:44
谢谢各位朋友.
大家分析的都很有道理,英雄所见略同.
厂家过来维修,确定是光控的问题,光控电压偏小,致于为何偏小,暂时还不明了,由于小日本的相关数据都嵌在IC里面,所以查找问题不能像国产机这样直观明了.
有最新消息再来反馈给大家.

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-9-30 12:50
不懂机器光控的结构和原理,分析异常不容易啊.通常只能从外面向里面思考,由表象向本质探索,累!!!

作者: shaodong1311 时间: 2007-9-30 15:04
非常感谢以上各位,是你们把镀膜的问题提出,并分析.这样可以让我们吸取经验,让光学镀膜发扬光大.
谢谢!!!!

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-9-30 15:34
很多别人的经验要亲身经历了才是你自己的经验.

作者: shaodong1311 时间: 2007-10-1 19:56
恩，有道理，谢谢楼上。

作者: shaodong1311 时间: 2007-10-1 20:01
仔细想想，楼上说的真是太对了。

作者: z1206l 时间: 2010-6-29 17:18
本帖最后由 z1206l 于 2010-6-29 17:20 编辑

这些基本上都是光控方面的问题了。
电压不稳什么的，然后出光亮会有些变化。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-30 10:19

我镀膜的时候，极值数值经常变化，我想是我每次都调节电压和精度导致的。因为我镀的都是非规整膜系，需要不断的调节起始极值点。
每次的极值都应该不变的吗？如果是那样，是不是我的光控不稳？

作者: ysc730603 时间: 2011-12-30 11:01

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 10:19
我镀膜的时候，极值数值经常变化，我想是我每次都调节电压和精度导致的。因为我镀的都是非规整膜系 ...

大哥能说下光控怎么玩非规整膜系吗？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-30 11:05

ysc730603 发表于 2011-12-30 11:01
大哥能说下光控怎么玩非规整膜系吗？

我也在边摸边学啊，论坛里面玩晶控的多，玩光控的少。

作者: ysc730603 时间: 2011-12-30 13:13

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 11:05
我也在边摸边学啊，论坛里面玩晶控的多，玩光控的少。

比如这个膜系怎么镀0.41ZRO2 0.19MGF2 1.57ZRO2 0.16MGF2 0.57ZRO2 1.13MGF2

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-30 13:26

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:13
比如这个膜系怎么镀0.41ZRO2 0.19MGF2 1.57ZRO2 0.16MGF2 0.57ZRO2 1.13MGF2

每层的监控波长按照你的设计波长乘以系数，可以这样控制吗？

作者: ysc730603 时间: 2011-12-30 13:30

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 13:26
每层的监控波长按照你的设计波长乘以系数，可以这样控制吗？

比如0.19*550=104.5NM我没法控制

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-31 08:28

ysc730603 发表于 2011-12-30 13:30
比如0.19*550=104.5NM我没法控制

我也有碰到过这种事情。有两种解决方式，一种就是修改膜系设计，将这个数值调节到你能控制的最小厚度，然后其他膜层对应优化。另一种就是要看你的镀膜机光控是否稳定，例如你每次的极值点都一样，那么就算出对应的数值，当光控走到这个数值时停止。

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