光电工程师社区

标题: 镀膜机的抽速 [打印本页]

作者: x_x_x_f 时间: 2007-8-24 10:12
标题: 镀膜机的抽速
各位大虾：
我这边的镀膜机，800，现代南光，感觉刚洗完机器抽速很快，但是过了两个礼拜左右抽速就变得慢好多了。如果再洗就又快了。差别很大。不知道大家有没有碰到这种情况？镀的介质膜，MgF2，ZrO2,Al2O3之类的膜料。

作者: x_x_x_f 时间: 2007-8-24 11:12
如果机器正常的话，MgF2单层膜用南光的800机镀，阻蒸，从这次进炉到下一次进炉45分钟可以么？
感觉关键是真空不够快。

作者: tfc 时间: 2007-8-24 16:22
如果你烤３００度＼５乘－３镀，这不算慢，见过一人，抽１５分钟就镀的，不管真空．

作者: shuangzixing 时间: 2007-8-24 20:04
镀MGF2应该真空高点吧.你看看机械泵的油颜色是否氧化了.你可以练一下油

作者: niechunyang 时间: 2007-8-24 21:14
是机器脏，都是这样字的

作者: T10 时间: 2007-8-25 06:22
阻蒸,都有这样的通病,是本身工艺过程决定的.

作者: x_x_x_f 时间: 2007-8-25 09:36
我的机器800机，两圈烘烤，设定温度360度，实测270度，抽到5乘-3镀，可以么？
用电子枪镀感觉真空返得厉害，而且很废料。

作者: x_x_x_f 时间: 2007-8-25 09:37
我说的是在上述情况下，用阻蒸镀。

作者: kuikuiqq 时间: 2007-8-25 15:45

原帖由 x_x_x_f 于 2007-8-25 09:36 发表
我的机器800机，两圈烘烤，设定温度360度，实测270度，抽到5乘-3镀，可以么？
用电子枪镀感觉真空返得厉害，而且很废料。

很正常的哦,料里面本身空气也很多的,抽抽就好了

作者: zzzz 时间: 2007-8-27 10:54
用两周才洗把错了
一周一洗的都多的是了

作者: ferry 时间: 2007-8-27 13:40
我们当时洗的更不勤.半个月呢.

作者: luokobe 时间: 2007-9-13 22:39
郁闷，我们现在的日本的机器，要两天清一次呢！
清机后，35就能抽到3E-5Torr

作者: HGcoating 时间: 2007-9-14 13:45
国产现在南光的机子是这样的，我们有110的要抽三个多小时咧。最快的时候也要两个小时。不过不一般不会超过一时间真空就会掉下来。厂家人来了好几次都解决不了

作者: HGcoating 时间: 2007-9-14 13:52
国产现在南光的机子是这样的，我们有110的要抽三个多小时咧。最快的时候也要两个小时。不过不一般不会超过一时间真空就会掉下来。厂家人来了好几次都解决不了

作者: x_x_x_f 时间: 2007-9-14 15:10
感觉狂郁闷。太慢了撒

作者: yxwork 时间: 2007-9-14 21:34
欧,是这要的吗,太慢了撒

作者: yxwork 时间: 2007-9-14 21:35
欧,是这要的吗,太慢了撒

作者: cbg368 时间: 2007-9-15 06:45
晕倒，镀什么产品啊，我们都三四天清洗一次，而且只做白天的。

作者: x_x_x_f 时间: 2007-9-15 10:32
#14楼：
这么慢肯定不对的。粗真空慢不慢？

作者: chenhuan309 时间: 2007-9-16 18:18
晕倒，镀什么产品啊，我们都三四天清洗一次，而且只做白天的

作者: richjieyu 时间: 2008-3-26 21:12
可以用中光学真空公司的真空镀膜机，挺好用，烘烤4.0E-3大约20几分钟，机型也比较全面。配置还可以根据需要进行选配

不错呵呵

作者: 777秋枫 时间: 2008-3-27 15:06
呵呵，两周洗一次机器，太轻松了吧。。。。。。。。。。。

作者: Lxykoko 时间: 2008-3-28 18:34
标题: 南光正常的话
应该是40分钟就到时3.0E-3Pa的,你们说的真有这么慢?那一天能镀多少次呀?

作者: xieyoujie 时间: 2008-3-29 16:46
各位前辈有没有真空镀膜相关书籍
请提供书名不胜感激

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