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标题: AMC去除 [打印本页]

作者: ryongs 时间: 2007-9-1 08:16
标题: AMC去除
AMC去除

AMC去除
对微电子制造业来说，空气中危害生产工艺和产品并因此引起成品率降低的化学物质，称为“分子级污染物”（或气载分子污染物），英文简称“AMC”。分子污染物的尺寸比粒子要小得多，相差几个数量级，高效过滤器HEPA或者超高效过滤器ULPA根本无法去除AMC。
多年的理论和实践证明，化学过滤是低浓度气体污染物最为经济有效的去除方法，几乎可以去除所有的气体污染物，在工业排风、溶剂回收等高浓度场合也在大量使用，是一项安全、可靠、成熟的技术。

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