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标题: 求教TwinMag Cathode的工作原理。 [打印本页]

作者: arieszg 时间: 2007-9-11 15:14
标题: 求教TwinMag Cathode的工作原理。
求教TwinMag Cathode的工作原理。
How does TwinMag cathode deposit metal on the substrate.
   --DC sputter or RF?
   --Anode and cathode switch each other as a certain frequency?


   在a-silicon和metal（Back Contact）之间为什么要填SiN。

twinmag.JPG (13.79 KB, 下载次数: 18)

作者: caodecd 时间: 2007-9-12 13:18
中频溅射嘛！大哥，而且你不要说英语！就是孪生靶的中频磁控溅射。工作原理很简单！当中频电源提供两个接线在两个靶上！当其中一个靶为阴极，另一个为阳极！当中频改变极性后！原来的阴极边为溅射的阳极！故这对靶叫孪生靶！电源频率40KHz，可以是正弦波或方波。由于阴阳极互换，有效防止阴极靶面的正离子汇集！对一般磁控溅射的直流靶镀氧化、介质膜的阴极消失，中毒，打弧。很好的解决！！至于siN应该是减反射和保护镀层！不过书上说靶子可以有个角度安装！说可以增加速率和利用靶材！我还没有见过对阴极这样使用的！而且！旋转靶可不可以做成中频孪生靶？搞不懂！想来应该可以！哎！只有找个高手请教一下哈！！

[ 本帖最后由 caodecd 于 2007-9-14 12:39 编辑 ]

作者: zzzz 时间: 2007-9-13 08:05
楼上所言极是
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