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标题: 真空镀膜技术概述 [打印本页]

作者: xiao11 时间: 2007-9-22 16:45
标题: 真空镀膜技术概述
真空镀膜工艺概述
宜桀
前言
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成
部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体
表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材
料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的
作用。因此真空镀膜技术被誉为最具发展前途的重要技术之一、并已在高技术产业化的发展
中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用。
真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支，它已广泛地应用于光学、电子学、能源开
发、理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用
的方法主要有蒸发镀．溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相沉
积法。如果从真空镀膜的目的是为了改变物质表面的物理、化学性能的话。这一技术又是真
空表面处理技术中的重要组成部分，其分类如表1—1所示。
表l一1 真空表面处理技术的分类
表面处处理方法粒子运动能量工作方式
理目的等离子体高真空
电阻加热蒸发
加子束蒸发
真空蒸发镀膜 0．1～lev 等离子熔炼辉光放电分解真空电弧蒸
真空感应蒸发
分子束外延
放电方式：直流、交流、高频
薄膜沉积真空溅射镀膜 10—100ev 电极数止：2级、3级、4级离子柬溅射镀膜
(表面厚反应溅射：磁控溅射、对向
度增加) 靶溅射。
直流二级型
真空离子镀膜数l0 多阴极型单一离子束镀膜～ 500ev ARE型、增强ARE 集团离子束镀膜
HCD型
高频型
CVD 化学反应等离子增强化学气相沉积低压等离子化学气
热扩散 (PCVD) 相沉积(LPCVD)
微细加工数百ev一高频溅射刻蚀、等离子刻离子束刻蚀、反应离
(表面厚离子刻蚀蚀
、
反应离子刻蚀。子束刻蚀、电子束刻
减少) 数key 蚀
、X射线曝光。
表面改性
(不改变数key—
表面厚离子注人 l000key 活性离子冲击离子氮化离子注人
度)
一l2 一
《船用导航雷达》总第79期
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二、真空镀膜的应用现状
真空镀膜是-7I有发展前景的表面涂覆应用技术，它具有一系列其它工艺不可取代的优
异特点：不受被镀元件的材料及形状的影响。镀膜的厚度可以控制、一般为十分之几或百分
之几微米；可镀功能性表面镀层，无须象化学镀银那样进行补充抛光。因而，它被广泛地应用
于电子设备、天文观测设备、仪器、仪表方面，而且还可用于装饰、玩具、闹钟外壳、服装等有关
行业。
l、光学工业的应用
根据光学性能的要求，需要改变光学镜片表面对光波透射、反射能力。真空镀膜就可以
实现此项需求。
增透膜：在光学镜片表面镀以低折射率介质，提高光波在镜片表面的通过能力这就是增透
膜。根据光学系统在实际使用中A眼、照相底片、光电器件对透过光波长范围的不同需求。
可调整增透光的光度长区域。。
反光膜：在镜片表面真空镀以金属或高折射率介质，可提高镜片表面对光波的反射能力。
同样，也可根据镜片不同的使用要求，调整反射光波的波长区域及反射能力。
分光膜：将一束光分为二束光称为分光。有能量分光，如透反比例相等的中性分光；有颜
色分光，如逶紫光反黄光；有特性分光，如偏振分光等等。在镜片表面真空镀金属，或交替镀高
低折射率介质，就可以实现分光功能。
滤光膜：有一些特殊光学仪器中，有时要求特定的光通过，其他光反射；或特定的光反射，
其他光通过；真空镀上滤光膜就能实现此功能。滤光膜有窄带、宽带、干涉、截止滤光膜等，均
可由真空镀膜实现。
保护膜：可以在镜片表面镀以硬质高强度薄膜，增加镜片表面机械强度以及防霉防雾防
化学腐蚀能力。
装饰膜：真空蒸镀的介质薄膜，因光的干涉作用会产生不同的色彩，有时利用这个现象对
镜片装饰以增加美感。如光学工艺品的彩虹膜、望远镜的反缸膜、反绿膜等等。此外、随着塑
料镜片越来越多地用于光学仪器中，在塑料镜片表面真空蒸镀增透、反光、分光、装饰、保护薄
膜也成为现实。
2、电子工业的应用
真空镀膜在电子工业中的应用极为广泛，下面列出几种：
透明导电膜：在玻璃、聚脂等基体上。真空镀上氧化铟、氧化锡薄膜，就可实现即透明又导
电的功能。可用于显示电报、平面照相电极、光电效应记录材料等方面。
导电加热膜：在玻璃等基体上的局部框线真空镀以铬或镍合金，接通电源，就可实现如热
功能。用以清除因温差带来的永蒸汽等。
电极膜：在纸张、聚脂、聚碳酸脂、聚丙烯等电介质上。真空镀铝或锌后，制成电极。可用于
制作多种规格的电容器。而且耐热性好、性能优良，为小型电子设备大容量化创造条件。
机能膜：采用真空镀膜技术，可以制备其他方法难以得到的各种机能膜。如Ic基板的单
晶硅片表面的半导体膜、绝缘膜、线路图的配线膜；混合Ic线路的阻抗膜、聚光膜；液晶显示元
件的透明电极膜；单晶体太阳能电池的光电转换膜；磁盘、磁带的记录膜；热磁头和传感器上的
机能膜等等。这些机能膜的实现加快了电子工业的飞速发展。真空镀膜技术为电子工业的飞
《船用导航雷~}2006年第四期
～ l3 一
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速发展创造r条件；而电子工业的飞速发展也为真空镀膜技术的应用、服务领域作了拓宽，为
真空镀膜技术的本身作了提高。
3、机械工业的应用 ’
自从真空镀膜中的反应性离子镀、磁控溅射镀等舾蒸镀技术的问世。真空镀膜在机械工
业中的应用越来越广。
超硬膜：在切削工具如钻头、铣刀、插滚齿刀等表面，真空镀上氮化钛等超硬膜层，可大大
提高切削工具的使用寿命、效率、精度。
功能膜：在机械零件表面真空镀上耐高温、防腐蚀、自润滑等机能的功能膜，可大大提高机
械零件的使用功能及使用寿命。如汽轮机叶片、枪炮内腔来复线等镀上高熔点合金膜。
装饰功能膜：金属表壳、表链等有装饰作用的表面，真空镀以氨化钛等膜层，即有逼真的仿
垒色，又有耐磨、防汗、防潮、防锈功能，
金刚石膜：金刚石是一种超硬、超强、白润滑性好、耐磨防腐的物质。真空镀金刚石膜层业
已获得成功。已有批量生产及专用设备。金刚石膜层因其固有的特性，其用途极为广泛，除在
机械工业可大量应用外，因其具有半导体特性和红外光区透明特性，所以在电子工业和红外器
件中也有广泛前途。
4、塑料工业的应用
在塑料制品上真空镀膜，是近年来才发展起来的，并且发展速度很快，已成为真空镀膜的
一个大的应用领域。塑料制品的真空镀膜，即可镀铝、铜等金属，也可镀氯化钛、氧化钛、氟化
镁等介质。即可镀装饰膜、保护膜，也可镀机能膜、功能膜。目前装饰膜极为普遍，ABS、丙烯
树脂、聚氯乙烯、尼龙、Pc、聚丙烯等塑料基底(含成型件和薄膜片)均可实现真空镀膜。
5、其他应用
真空镀膜在建材工业应用有幕墙玻璃等；在农业上有农用薄膜纸等；香烟内包装纸也是真
空镀膜的一项应用。还有其他领域也有真空镀膜应用。
(待续)
(上接第27页)
8．2．1雷达系统不应使用显示为无效的数据。如果输入数据质量较差，应清楚地加以指出。
8．2．2在使用数据之前，通过与其他连接的传感器对比，来检测数据的完整性。
8．2．3处理输入数据的取数时间应最小化。
8．3输出数据
8．3．1雷达输出接口向其他系统提供的信息应符合国际标准。
8．3．2雷达系统应为航行数据记载器(VDR)提供显示器屏幕数据的输出。
8．3．3雷达应有双向接口以促进交流，从而雷达报警能被转移到外部系统中，从外部系统处也
能静噪雷达的音频报警，接口应满足相关的国际标准。

作者: babybyd 时间: 2008-5-21 16:55
好哇好哇，正是我想要的，谢谢谢谢，多发点啊

作者: Ben19 时间: 2008-5-22 09:57
可否共享一份完整的资料给小弟?chenshubin19@163.com
小弟正在从事此行业,刚毕业的,急需学习此方面的知识.
如果有APS 1104的资料共享那就太感激不尽了.谢谢先...

作者: 貢丸 时间: 2012-12-28 23:27
謝謝分享

作者: 貢丸 时间: 2012-12-28 23:28
謝謝分享

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 09:16

作者: crl0129 时间: 2013-12-11 12:21
謝謝分享

作者: yuliang518 时间: 2014-5-17 16:50

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