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标题: 蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究 PDF [打印本页]

作者: T10 时间: 2007-9-26 21:26
标题: 蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究 PDF
王银珍,周圣明,徐　军
(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)
摘要:介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学
机械抛光的因素,阐述了CMP 的主要发展趋势:能定量确定最佳CMP 工艺,系统地研究CMP 工艺过程参数,建立完
善的CMP 理论模型,满足不同的工艺要求和应用领域,有效降低成本,提高产量。
关键词:蓝宝石;衬底;化学机械抛光
中图分类号:O786 　　　　文献标识码:A 　　　文章编号:10002985X(2004) 0320441207

来源于<人工晶体学报>2004年第6期

蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究.pdf

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作者: kaka 时间: 2007-9-27 09:26
上光的文章,应该写的不错

作者: 蛛蛛111 时间: 2007-9-27 21:47
看看再说，希望能有个比较全面的介绍

作者: cscaosheng 时间: 2007-9-30 08:57
都是分析,没有能参考的数据.
不过谢楼主分享了!

作者: CD_LYS 时间: 2007-11-16 15:48
我像毛主席保证，这个贴也是无肉的，最多有点毛皮，但还是要谢谢楼主。

作者: 蛛蛛111 时间: 2007-11-16 19:28
我向马克思保证，这个贴连点点皮毛都不会有的

作者: oksot 时间: 2008-5-24 11:24
好东西，学习学习下

作者: npteccn 时间: 2008-7-1 22:06
这篇文章我看过，无血无肉，最多有几根毛。

作者: CD_LYS 时间: 2008-7-8 17:32
6楼的朋友，我遇得到你哦

作者: juhongbing 时间: 2008-12-22 10:17
下来学一学，谢谢楼主了1

作者: ntschina 时间: 2008-12-25 16:07
呵呵，化学抛光是需要的，MONOCRYSTAL 使用的就是 2道双端面研磨，1道粗研磨，2道CMP研磨，

使用的就是我们公司的设备。哈哈

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-12-25 20:40
MONO在加工衬底的过程中可能还有一道工艺吧？

梦游中，胡言乱语！

作者: myspic 时间: 2008-12-28 15:19
这篇文章的主要内容是抄的一篇美国大学的博士论文的内容.

作者: bonnie_cheng 时间: 2009-1-6 09:26
上海光机所如果能够把这个文章拿出来，就说明没有技术含量。

不然，谁愿意把重要信息外泄啊。

作者: eddytao 时间: 2009-1-21 09:41
呵呵，化学抛光CMP的确重要，谁要这个CMP的研磨液啊？（我小声的问，我能提供，MONO就有用）

作者: bjavfvip 时间: 2010-11-8 18:01
学习

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