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标题: AUTO Spin Coater [打印本页]

作者: kiinpot 时间: 2007-10-10 02:01
标题: AUTO Spin Coater
AUTO Spin Coater
AUTO Spin CoaterCT-1300 150mm/200mm/300mm Single Wafer System

AUTO Spin Coater

untitled.jpg

Application for 150 mm/200 mm/ 300 mm

Auto Load/Unload

High Through Put

Modular System

Process  Application

Spin Coater/Develop

Spin Coater

EBR

Hot Plate/ Cold Plate

Develop

Wet Cleaner / Wet Scrubber

Single Side Cleaner

Double Side Cleaner

Single Side Scrubber (High Pressure DI)

Double Side Scrubber (PVA Brush)

Striper

Wet Etch

Single Side Etch

Double Side Etch

CO2 Cleaner

AUTO Spin Coater

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BR

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