光电工程师社区

标题: 塑料基底上的AR膜问题 [打印本页]

作者: guangang 时间: 2007-10-11 23:25
标题: 塑料基底上的AR膜问题
塑料PMMA镜片，镀4层非规则膜，H为Ti3O5，L为SiO2，　镀出来的膜层附着性不好，有时候镀出来的镜片用酒精擦会出现破裂，请大家指教如何提高附着性及避免膜层破裂问题？最近这个问题一直没有好办法解决！

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-10-12 08:39
很简单的问题,当你测试透射率的时候还会发现有意思的现象,呵呵...

作者: XIANL 时间: 2007-10-12 12:54
有什么问题啊,楼上的帮助解答解答啊,我也想知道,请不吝赐教

作者: guangang 时间: 2007-10-12 13:45
既然很簡單就說嘛!
還搞的這麼神秘@@!

作者: guangang 时间: 2007-10-12 13:47
裝上鏡頭投影的時候有極個別的成像有問題,但反射OK,想不通的是,鍍出來4K多鏡片,卻隻有160多個投影有問題!

作者: CTMD 时间: 2007-10-12 18:04
啊,继续说说 ....

作者: guangang 时间: 2007-10-12 22:58
投影chart边缘线条两侧有彩色，象是有重影一样！这是什么原因造成的！

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-10-13 15:59

原帖由 guangang 于 2007-10-12 22:58 发表
投影chart边缘线条两侧有彩色，象是有重影一样！这是什么原因造成的！

是不是镜片厚了?边缘有影响啊.

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-10-13 16:06

原帖由 guangang 于 2007-10-11 23:25 发表
塑料PMMA镜片，镀4层非规则膜，H为Ti3O5，L为SiO2，　镀出来的膜层附着性不好，有时候镀出来的镜片用酒精擦会出现破裂，请大家指教如何提高附着性及避免膜层破裂问题？最近这个问题一直没有好办法解决！

加热到70度,镀膜前和镀膜过程中用离子源辅助镀才可以,最好用O2做制程气体.镀前不同的气体轰击PMMA板会改变其透射率,有兴趣的话可以做实验,我是做过了.还有就是500nm以下的波段吸收很大,680nm左右透射率会出奇的好.如果两面都镀 AR的话700nm透射率有次测试超过100%了,很搞笑.分光光度计是瑞士 satis吧.呵呵...注意镀层上印刷油墨就要小心了,附着力会随时间变长而变差,暂无对策...

作者: guangang 时间: 2007-10-15 00:03
镀层上印刷油墨?? 什么意思？

作者: guangang 时间: 2007-10-16 16:18
還有沒有哪位有高見,多指教!!

作者: OBC 时间: 2007-10-16 20:08
塑料PMMA镜片镀AR用什麽膜料好些？加下低温好还是不加温好？

[ 本帖最后由 OBC 于 2007-10-16 20:09 编辑 ]

作者: kuan 时间: 2007-10-17 16:04
建议你换基材, PMMA稳定性差

作者: guangang 时间: 2007-10-17 22:53
这个产品已经做了一年多了，定单现在还很多，要换是不可能滴！只有想办法改善了！

作者: Beneq 时间: 2007-10-23 14:21
标题: 回复 #1 guangang 的帖子
您可以在基地材料上先镀一层过渡膜,这样效果会不错.

作者: Beneq 时间: 2007-10-23 14:24
标题: 回复 #1 guangang 的帖子
请将您的EMAIL地址给我,我可以提供您一点技术资料.

作者: guangang 时间: 2007-10-24 14:01
mark_guan@126.com
謝謝!

作者: ccc502 时间: 2007-11-16 09:48
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作者: JangSin 时间: 2007-11-16 10:04
PMMA自身对膜的附着性有影响，要改善的话很难

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-11-16 13:03
问问厦门虹泰吧,他们有实力.

作者: 小技工 时间: 2007-11-16 17:11
PMMA镀膜是有难度的，关键是PMMA容易吸水，而且基地软；对策还是针对第一层与基底结合力进行检讨。

作者: snebur 时间: 2007-11-16 17:49
加个Sio过渡层。真空度提高！
光板一定放小点！蒸发速率减低！在Si和TI的厚度匹配上注意厚度！以免产生过多的应力！

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-11-16 19:24
SIO也不是那么好镀吧.颗粒的电子枪镀很容易溅料,电阻镀也是溅料.柱状的好镀点.镀前开离子源扫下基板.应力匹配也是个问题.不知道楼上的兄弟怎么匹配?

作者: 小技工 时间: 2007-11-17 12:55
不要用电子枪去镀SIO，否则白费劲，注意了。

作者: ippsong 时间: 2007-11-17 17:29
PMMA确实不适合 , 吸水性很难克服 . 建议更换 , 但是如果不做环测直接以酒精擦拭就会出问题 , 那就是镀膜工艺要再提升 . 镀SIO没人会用电子枪吧 ?

作者: ccc502 时间: 2007-11-19 09:45
标题: hao dong xi
xiexie liao

作者: snebur 时间: 2007-11-20 17:17
SiO采用RH蒸发！速率低于3A？S、厚度很薄即可！

作者: guangang 时间: 2007-11-21 13:36
SiO采用RH蒸发??????????

作者: carpty 时间: 2010-11-9 09:51

jhxxmlhk 发表于 2007-10-13 16:06
加热到70度,镀膜前和镀膜过程中用离子源辅助镀才可以,最好用O2做制程气体.镀前不同的气体轰击PMMA板会改变 ...

我这里就是有印刷油墨的pmma镜片来镀膜，附着力确实很差，都做了很多实验还是不行

作者: john03062003 时间: 2010-11-9 11:11
我一直也没有用sio做底层，不过膜层的附着力还好了，百格没有问题！

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