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标题: 镀膜的一些问题 [打印本页]

作者: baron 时间: 2007-10-16 10:40
标题: 镀膜的一些问题
为什么有的基片不能用离子源来刻蚀，一旦刻蚀了基片就会发朦？

作者: baron 时间: 2007-10-16 10:41
是根据基片的什么性质？

作者: thaimaychant 时间: 2007-10-28 22:44
我也想了解一下

作者: msy2009 时间: 2007-10-28 23:19
离子源辅助镀膜,基片会发蒙?楼主请具体说明你的情况,我们现在也在用离子源辅助镀膜,但是没有和你说的这种情况一样,呵呵,有兴趣的话,可以和我联系:happyboy8877@163.com

作者: hbxyh 时间: 2007-10-29 15:03
你用的是什么源，我们也没有出现你说的情况，
希望你说具体点，共同探讨。

作者: CTMD 时间: 2007-10-29 19:56
能不能详细说一说 ...

作者: duwei2008 时间: 2007-10-30 12:33
你用的是什么离子源，我们也有你说的这种情况，
希望你说具体点，共同探讨。

作者: shaodong1311 时间: 2007-10-31 18:37
我看是你的离子源功率太大了,把镜片表面打坏了.

作者: XIANGZI 时间: 2007-11-8 22:53
说的详细一点!不然无从下手

作者: huang12949 时间: 2007-11-9 20:56
问题首要点是：你用的什么基材？

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