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标题: 阴极靶表面溅射出沟了..... [打印本页]

作者: xyzxyaxyz 时间: 2007-10-17 10:30
标题: 阴极靶表面溅射出沟了.....
镀膜的靶材被溅射穿了，造成阴极靶表面的铜面被开了一小道沟，长约２cm，深度有１mm内．

不知道各位前辈有没有遇到相同的情况，这会造成不量影响吗，需要靶阴极靶送去维修吗？

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