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标题: 磁控溅射在光学镀膜中的应用 [打印本页]

作者: xbimr 时间: 2007-11-18 16:22
标题: 磁控溅射在光学镀膜中的应用
大家好，看帖子发现光学镀膜主要还是蒸镀或加离子源的方式。请问磁控溅射在光学镀膜中应用多吗？假如有，主要用于什么镀膜呢，为什么溅射技术没有大规模应用到光学镀膜中呢，主要的原因是什么呢？非常感谢！！！

作者: niechunyang 时间: 2007-11-18 17:00
应该还不是成熟，有的研究，呵呵，没有做不成的应该

作者: xbimr 时间: 2007-11-19 12:33
谢谢楼上仁兄，那主要是什么方面不成熟呢，均匀性，成本，还是？

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-11-19 14:42
机器太贵了,上千万,谁买的起?

作者: xbimr 时间: 2007-11-19 21:25
进口太贵，纯国产太烂，有没折中组装的是否就合适些呢

作者: huweiqian 时间: 2007-11-20 15:06
应该说现在把光学镀膜工艺跟溅射技术结合的很好的公司还不多。另外就是蒸发镀膜设备的国产化使得溅射设备的成本不具有竞争力。但是对一些特殊材料的薄膜，溅射还是有其有点的，比如GeC,似乎很难用蒸发做好。

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