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标题: 停电后镀膜机不稳定怎么解释 [打印本页]

作者: dwzgy 时间: 2007-11-21 17:28
标题: 停电后镀膜机不稳定怎么解释
停了4天电

所有镀膜机光谱性能都不稳定

怎么解释？

怎么造成的了？

还有好好的透射光谱，怎么factor就变了了？

未命名.JPG (113.51 KB, 下载次数: 26)

作者: niechunyang 时间: 2007-11-21 18:36
可能要调整参数了，每个因素都起影响我想是

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-11-22 08:38
再用几天就好了.

作者: gxbm 时间: 2007-11-22 10:27
同意三楼的观点．

作者: dwzgy 时间: 2007-11-22 11:21
的确
用几天是会好
但是怎么影响的想知道

下次再停电还是这样可不好

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-11-22 15:17
做镀膜就是这样的,很多问题找不到合理的解释,汗.....
机器也和人一样,长期不活动就不习惯了,呵呵...
所以镀膜机基本一年都开着的,很少停机的.

作者: jtgyph 时间: 2007-11-22 17:13
所以镀膜机基本一年都开着的,很少停机的.

作者: dwzgy 时间: 2007-11-23 12:05
都没有说正题啊

作者: palyun 时间: 2007-11-23 20:35
应该与炉膛环境有关系
是不是炉膛环境变了
比如有水气

作者: palyun 时间: 2007-11-23 20:36
可以先检查所有的工艺参数
然后试着多测试几炉
等炉膛回复到原来的样子就好了

作者: ippsong 时间: 2007-11-24 13:39
基本上会影响 factor的原因非常多 , 帮浦效能与蒸镀速率本就是一个平衡. ,
机器停会有变化要注意是否停机的手顺是正确的 (如会影响水气或polycold的因素) . 开始生产的第一锅前最好让舱体先热一热 .

作者: kinlee 时间: 2008-1-7 15:07
学习知识了!谢谢各位高手的详细解释!不过还是不太详细.

作者: shaodong1311 时间: 2008-1-7 15:28
我也见过这样的情况啊,就是过几天就好了,具体还是没有弄清应该注意什么才能杜绝类似事件的发生.

作者: flashzhang 时间: 2008-1-7 19:44
原因是同等工艺条件下，镀膜时的环境变化了，
也就是同样的真空度的情况下，残余气体成分
变化了，其实主要就是水汽多了
属于正常现象
所以长期停机后要作烘烤，才能正式生产

作者: holden 时间: 2008-1-8 16:10

正常现象气氛环境达到一个平衡后才能保证设备稳定工作。
如果，半导体公司经常停电，哪么他基本可以关门啦！
顺便提一下，这个时候就可以看出保险公司的重要性啦

作者: 木子李 时间: 2008-1-11 20:16
同意14楼意见，注意环境以及工艺条件的变化，才能正常，最好先做一些低要求的，以己之见

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