光电工程师社区

标题: 请教,镀4层AR不用监控? [打印本页]

作者: maxhong 时间: 2007-11-23 17:54
标题: 请教,镀4层AR不用监控?
能否不用晶控与光控进行4层AR的镀膜, 各位大侠可有此经验, 教小弟几招.

作者: palyun 时间: 2007-11-23 20:25
看用什么机器
机器不行，就需要加强监控

作者: maxhong 时间: 2007-11-26 14:00
小弟用的是磁控溅射镀膜

作者: zzzz 时间: 2007-11-27 07:59
时间控制了
???????????????????????///

作者: captainH 时间: 2007-11-28 09:13
悬.................................................

作者: zheng 时间: 2007-11-29 21:51
这样的话首先不能掌控特性，除非你的要求非常的低，个人觉的镀NG的机会会更多。

作者: coatinger 时间: 2007-12-3 20:42
磁控溅射可以靠时间来控制，看设备的配置了

作者: 章钱国 时间: 2008-1-5 00:23
如果你的眼力很好的话，可以不用的，你可以每层都看顔色啊，不过这样的精度相对要差点啊

作者: qqucqquc 时间: 2008-1-24 23:02
标题: 回复 #1 maxhong 的帖子
晕.................................................太浪费机器了

作者: ic5 时间: 2008-1-25 12:51
是太浪费了。

磁控溅射设备怎么会没有监控？

磁控溅射时间控制完全可以。

作者: zzh1011 时间: 2008-1-26 17:23
还是要看你对精度要求有多高，如果不是很高的话，还是可以用眼睛来观察的！

作者: zzzz 时间: 2008-1-28 14:04
4层的用眼控制难度大，人眼的分辨力可没那么好
单层或两层的还可以。

作者: tfc 时间: 2008-1-31 08:58
同意IC5，要做好工艺。

作者: xiao2000 时间: 2008-2-2 21:09
磁控溅射时间控制完全可以，有些设备根本不配备其他监控手段。

作者: banchao 时间: 2008-2-11 01:49
可以我门公司不用监控可做一百多层的膜系

作者: 非蝗 时间: 2008-2-26 16:18
是连续线还是单端的？可是不一样的．四层的要求较高

作者: nation 时间: 2008-7-1 05:59
如果你将设备调整稳定的话，是可以用时间来控制的。

作者: gxbm 时间: 2008-7-3 17:17

原帖由 banchao 于 2008-2-11 01:49 发表
可以我门公司不用监控可做一百多层的膜系

不会吧，不用监控１００多层？厉害哦

作者: tails3582 时间: 2008-7-3 19:52
我用的磁控溅射很强，通过时间控制完全可以保证镀膜精度

作者: truckcar 时间: 2008-9-3 08:39

原帖由 banchao 于 2008-2-11 01:49 发表
可以我门公司不用监控可做一百多层的膜系

神人

天外来客

作者: truckcar 时间: 2008-9-3 08:41

原帖由 tails3582 于 2008-7-3 19:52 发表
我用的磁控溅射很强，通过时间控制完全可以保证镀膜精度

光学膜要的不是几何厚度

折射率和很多参数相关

溅射能用的介质很少

不知道你是什麽方法

作者: zhiren 时间: 2008-10-13 17:24

不可思意，不用监控都能做到100多层。

作者: ferry 时间: 2008-10-13 19:07
VEECO的spector沉积系统就很强大,不用监控几十层可以做到,不过,上百层不用,也还是第一次听说啊.

作者: qjy 时间: 2008-10-14 09:32
不用监控做100多层的膜系？确实牛b 呵呵！用的是太上老君的炼丹炉吧！嘿嘿

作者: 章钱国 时间: 2008-10-14 15:17
四层用眼睛控制难度就大啊，我们七层都可以用眼睛控制的啊

作者: qjy 时间: 2008-10-14 16:58
呵呵！那你比人家100多层用眼睛看的还差的远呢！嘿嘿！不过总比我们这些不会用眼睛看的厉害多了！

作者: mxb010ak47 时间: 2008-11-12 08:39
OMG，不用监控100多层，神人啊，景仰中......

作者: qjy 时间: 2008-11-12 09:20
呵呵！我们正处在一个牛人辈出的时代！

作者: jhxxmlhk 时间: 2008-11-12 10:04
人家可能用的是RAS，成膜速率很稳定，没有光控或晶控。

作者: zzzz 时间: 2008-11-12 10:20
孙悟空传人
火眼晶睛神攻再现江湖

作者: 999520 时间: 2008-12-14 18:58
算出厚度，用时间控制应该是可以的

作者: yzhuang 时间: 2008-12-16 22:20
15# banchao
太厉害了,今年的诺贝尔物理奖非你莫属

作者: 苏州膜头 时间: 2008-12-31 20:58
15# banchao

吹大了

作者: chenchenchen 时间: 2009-1-7 16:04
磁控溅射设备如果没有监控,自己再加上监控设备也不是难事啊,除非每次镀的工艺重复性很好,可以不用监控

作者: jonying 时间: 2009-5-5 06:19
。汗 …

作者: tanshluai 时间: 2009-5-6 00:38
那位公司只用眼睛看膜，能镀100层的大侠`你们那里都是透视来着？？

作者: 涛哥 时间: 2009-5-6 09:05
直接用眼睛看就行了，最简便的方法。

作者: bomolaonan 时间: 2009-5-6 17:23
牛！不用监控可做100多层，那会是什么膜呢？？？？

作者: ken.li 时间: 2009-6-20 11:16
先学习学习........................

作者: 小技工 时间: 2009-6-25 16:21
使用的是RAS机器，原理一致的

作者: 无语了 时间: 2009-6-28 12:48
没有接触过磁控溅射镀膜，遗憾！！！！

作者: buluto 时间: 2009-6-30 16:34
不用监控的话，经验非常丰富的可以用肉眼观察颜色，但这招很少人能用，长光所以前有位老先生叫李永贵的镀膜用肉眼观测从来都是免检的。在有就是时间控制了，还是要有经验的了解蒸发速率，掐算蒸镀时间，但很悬增透膜这东西差个几纳米曲线都会有很大差异。4层工艺每一层的公差累积起来也够要命的。

作者: banchao 时间: 2009-7-27 17:45
26# qjy

我们不是用眼睛看是用时间控制

作者: lgciom 时间: 2009-7-27 20:06
请问；楼主想搞哪样？

作者: zjtiantao 时间: 2009-8-30 16:21
是太浪费了。
- r4 k. m! \9 c3 P" |! k4 K9 p' u$ P
- [6 B- i- u3 y; O$ v磁控溅射设备怎么会没有监控？
7 O1 r/ r" f& {' e$ ]- }( Q- T. f8 `8 r0 v z' m
磁控溅射时间控制完全可以。
坚决支持楼上的意见

作者: adai87421455 时间: 2009-8-31 15:27
遗憾，只做过金属没做过玻璃．．先转行做玻璃，请大家多多赐教～～

作者: chendamin1234 时间: 2015-7-18 10:25
1962年产生了半导体激光器；1963年产生可调谐染料激光器。

作者: 轩zjw哥 时间: 2015-7-21 07:38

如果你的眼力很好的话，可以不用的，你可以每层都看顔色啊，不过这样的精度相对要差点啊

作者: xiaohuilee 时间: 2015-8-27 20:03
固定电压靠时间来控制

作者: 轩zjw哥 时间: 2018-1-23 21:58
不错可以学习一下！

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