光电工程师社区

标题: 请教一下，为什么镀红外截止膜的基板上有红色点状的东西 [打印本页]

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-15 18:45
标题: 请教一下，为什么镀红外截止膜的基板上有红色点状的东西
几字型红外截止膜上有整锅整锅的红色小点，非常密集，但不影响透过率．外观上非常不好．可愁死我了．
请问哪位同行遇到过类似的情况。帮忙解决一下！！！！

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-15 19:08
补充一句，这个红点还算挺均匀的　怎么能搞定他们啊

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-16 17:00
我们镀的是二氧化硅和三氧化二钛,请问是哪的种药的速率会影响外观,出现这种现象啊

作者: Lxykoko 时间: 2007-12-16 17:04
标题: 三氧化二钛
三氧化二钛影响的吧,我这里也遇到过,可以采取多次预熔试看

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-17 08:59
多次预熔．．看来应该有效我试试吧谢谢了啊

作者: Lxykoko 时间: 2007-12-17 20:26
标题: 怎么样啊
我做氧化钛都是先装半坩埚,预熔后把坩埚打扫再添点上去,再预熔,如此反复直到合适的高度

作者: coatinger 时间: 2007-12-17 21:50
预熔很关键，出点子很多情况下都是预熔没有做好。

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-17 22:19
谢谢各位最近生产比较忙我会去试的到时候告诉大家结果

作者: gxbm 时间: 2007-12-18 11:17
说的在理！

作者: dwzgy 时间: 2007-12-18 12:54
SiO2更是你要检查的重点啊

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-18 20:55
SIO2需要检查什么呢? TIO2我试了不太管用

作者: zzzz 时间: 2007-12-19 10:22
其它部分的打火呢?
每次使用TIO2料后的情况如何?

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-19 20:30
不打火,不用显微镜看雾蒙蒙的,
用显微镜看就是满面的小点,感觉不是气泡装.

作者: xiaozhou 时间: 2007-12-19 21:16
是否基底外观不好,,,,,,,
///////

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-20 20:26
我们的原板洗净还不错挺干净的..反正做了许多实验都找不到这点子的原因.
我认为是药物的事可是怎么做实验都不行...
求助!!!

作者: 经济学的故事 时间: 2007-12-20 23:31
标题: 关于SIO2料请确认
1。镀后料有无坑挖不平？SIO2底料整新、SIO2加平整，预熔转速确认
2。SIO2蒸发速率振幅起伏不定否？检讨速率功率设定，频率更稳定的水晶片
2。换更高纯度的 SIO2试试看

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-21 09:58
不用显微镜看象雾似的雾蒙蒙的

作者: shaodong1311 时间: 2007-12-21 10:27
应该是潮斑吧,若用离子源做不会有这样的现象的啊.

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-22 18:46
楼上的这位兄弟能详细的介绍一下潮斑么xuyi0829@sina.com 这是我的油箱 57554492我的QQ

作者: dalaoxu 时间: 2007-12-22 22:46
问题还没解决,顶起来,请各位多多给建议.谢谢

作者: lonely 时间: 2007-12-28 19:01
你尝试调高SIO2的速率，我就是这样解决的，我镀的产品和你是一样的

作者: 木子李 时间: 2008-2-26 18:55

作者: dwzgy 时间: 2008-2-26 19:06
建议换好一点的块状SiO2

再次就是加强镀膜机清扫了

作者: z1206l 时间: 2010-6-29 19:14

补充一句，这个红点还算挺均匀的　怎么能搞定他们啊
dalaoxu 发表于 2007-12-15 19:08

红点还算挺均匀的。？

镀成这样子，还真得有点功夫啊。

作者: yufe16fisher 时间: 2010-7-5 13:22
换二氧化硅试一下！温度什么的调下！

作者: lsnanjing 时间: 2010-8-9 15:28
预熔不好，硅速率大了

作者: zhxinhua 时间: 2010-8-29 18:43
不是很懂，学习了，多谢！

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