光电工程师社区
标题:
宝利来镀膜过程中放气的控制
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作者:
tyronewang
时间:
2007-12-17 16:10
标题:
宝利来镀膜过程中放气的控制
在宝利来真空镀膜过程中放气量很大,这样对工艺的稳定性造成很大的影响,各位有什么高招?
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