光电工程师社区

标题: Veeco推出新的INSIGHT三维原子力显微镜 [打印本页]

作者: gb936 时间: 2007-12-30 04:32
标题: Veeco推出新的INSIGHT三维原子力显微镜
Veeco推出新的INSIGHT三维原子力显微镜

Veeco Instruments公司宣布推出新的InSight™三维自动原子力显微镜（AFM）平台，特别是在45nm和32nm的半导体工艺中，需要非破坏性、高分辨率的三维测量方法，AFM计量系统被当作唯一的工具用于快速检测生产厂的产品质量。Veeco的InSight 3DAFM的设计针对性强，满足生产环境中对关键尺寸（CD）、厚度和CMP的测量。

Veeco CEO John R. Peeler表示，相对于我们以前的AFM，InSight 3DAFM的单位测量数量翻了两番，每小时能检测30块晶片，测量精准度也增加了一倍；因此，它是半导体三维测量的最新方法。

在当今市场上，它是唯一能提供在线式、精确、非破坏性的三维测量工具，可以缩短工艺开发和全面投产的时间，以提高客户的拥有成本、降低他们的制造风险。Veeco自动AFM业务部门副总Paul Clayton说，在45nm或更先
先进的工艺中，现有的在线式测量技术仅限于使用CD计量法，像CD-SEM和散射仪等技术测量很精确但不够正确，会带来严重的测量问题。总之，Veeco InSight可以将CD计量法的测量不确定性降至最低，从而提高工艺的可控性。

什么是InSight 3DAFM？

InSight 3DAFM是一款全新的计量平台，专为满足45nm和32nm半导体工艺对计量应用的迫切需要而设计的，比如关键尺寸（CD）、侧壁腐蚀角、关键层上的线宽粗糙度（包括栅结构和FinFet结构）。

该系统包括：精确度增强的高精度X-Y平台，以及带高精度自动聚焦功能的图案识别系统，这两个是新加入的。此外，新的AFM控制技术和新的探针设计有助于提高精度、降低测量点的平均测量费用，并减小图像特征测量的面积。最后，系统的稳定性得到重大的提升，可以满足基于45nm生产工艺的计量需求。

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)