光电工程师社区

标题: 请问怎么清洗硅片柱面上的抛光粉？ [打印本页]

作者: jicker 时间: 2008-2-4 11:17
标题: 请问怎么清洗硅片柱面上的抛光粉？
在加工硅片时，硅片柱面粘有抛光粉，干后很难除去。请问大家有什么好的清洗方法可以除去吗？谢谢！
jicker@263.net

作者: geng_911 时间: 2008-2-7 20:58
抛光之前，先在硅片柱面上涂上中性保护漆，下盘后正常清洗就可以了。

作者: cjk 时间: 2008-2-9 22:52
谢谢楼主

作者: jicker 时间: 2008-2-11 10:42
谢谢二楼的朋友，这个方法我们有用过，但柱面有保护漆后，细磨，抛光会将一部分保护漆带进抛光液中导致零件表面划痕。

作者: jicker 时间: 2008-2-19 17:25
顶起！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

作者: xiaoyu 时间: 2008-2-20 10:19
在强碱中用超声波清洗。当然你的硅片材料材质好的话。

作者: jicker 时间: 2008-2-21 12:34
强碱肯定是要和硅片反应的！用NAOH就能把硅片腐蚀了！

作者: wanggu88 时间: 2008-4-22 23:26
标题: 回复 #4 jicker 的帖子
一点点带进去,不可能对光洁度有影响,你该找找抛光磨和光光粉的原因

作者: nancy-y 时间: 2008-4-24 16:55
你好，我们在做两种清洗剂，一是NGL的超声波清洗剂，主要用于光学表面处理完成之后或镀膜之前等工序中的清洗工序。NGL也是肖特玻璃、HOYA玻璃、佳能光学等的长期供应商。

另一种是PCT光学表面清洁保护剂，涂在表面之后形成一层坚固的膜层，使光学表面与外界环境隔离，起到保护的作用，这层膜可以很容易的被撕去，同时带走灰尘、手指印等污染物，本身不会在光学表面有任何残留，不会造成二次污染，而且对表面无任何伤害。可用于清洁光学镜片（有镀膜或无镀膜）、光栅、CCD、晶体，可安全用于大多数金属，氧化硅，硅，锗，KRS-5，NaCl，KBr，及极性无机晶体上。其还可用于清洁防反射及反射涂层，商用的镜片表面，及某些不溶于极性有机溶剂如丙酮的塑料。

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