激光冷加工 - 光电工程师社区

飞秒激光微加工展现了许多优异的特性，例如确定的烧蚀阈值、高可重复性、高效率、更小的热影响区和极好的加工柔性等。飞秒脉冲与材料的相互作用过程中，自由电子主要通过光致电离（多光子电离和隧道电离）产生；脉冲前沿通过光致电离产生种子电子，这些种子电子在脉冲作用下发生雪崩从而使材料发生光学击穿。该过程不像长脉冲（>10 ps）那样依赖于材料中的缺陷，因而超短激光脉冲对材料的烧蚀阈值是确定的。同时，超短脉冲与长脉冲相比，达到烧蚀阈值功率所需要的能量更小，从而沉积到材料中的能量也更小；材料中所沉积能量的减少将导致更精确地烧蚀或体内改性。因此，飞秒激光脉冲对材料的烧蚀远比长脉冲规则，可重复性极高。