光电工程师社区

标题: Pinnacle电源维修 AE电源维修 [打印本页]

作者: powerservo 时间: 2008-3-17 16:15
标题: Pinnacle电源维修 AE电源维修
AE(Advanced Energy)直流电源
Pinnacle® 系列产品
业界公认的 Pinnacle® 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。
优势:
●最低的运行和安装成本
●业界最快的弧反应时间
●可配置的弧反应参数
●最大的工艺效率
●精确的工艺控制
特点:
●最低的存储能量——每千瓦输出不到 1mJ
●无需调节输出变压器
●4:1的阻抗范围
●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间
●±0.1%的输出重复性
●Joule 模式——最优化的能量传送.
规格：
●输入电压：200/208、400或480VAC（±10%）、3Φ4线、50/60kHz
●功率因素：负荷＞90%
●输出电压：低Z、标准Z或高Z
●输出极性：浮动默认值，具有正和负功能
●输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量＜5%RMS
●输出功率重复精度：0.1%，从设计功率到10%到100%。
●负荷调整：±1%，输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的负荷变化
●温度系数：＞20℃至40℃的环境温度范围内调整输出参数变化＜0.005%/℃
●模拟接口选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字
            37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字
            37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字
●串行通信选项：RS-232，RS-422，RS-485（可选波特率高达57.6K）
            AE Bus 协议
            ASCⅡ协议（MDX和仿真）
            Profibus（可选波特1.5或12MB）AE Bus协议
            具有DeviceNet®选项
●输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环
●输入功率接头：五个终端，DIN压缩接头
尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）
●重量：29.5kg
Pinnacle® 6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW

Pinnacle® Plus+系列
Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。
优势:
●更高的沉积率与产品率
●薄膜均匀性和品质一流
●成弧造成的基材损坏减少
●成本更低
●系统整合容易
●极佳的工艺灵活性和宽容度
●重复性能
●在过度曲线上运行稳定
●吞吐量更高
●便于监控
●无与伦比的系统灵活性
特点:
●一个紧凑型封装
●频率调节范围为 5-350kHz
●占空比高达45%
●电压范围宽——单输出宽阻抗范围
●大功率运行
●基材温度低
●单输出（5kW 和 10kW 型号）
●用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）
●绝佳的弧控制
●反应性溅射闭环控制
规格：
●输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出
●电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）
●输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：＃6 AWG
●输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头
●最大电流：15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC
●频率：5到350KHz，可变
●反向电压：工作电压的10%
●点火功能：最大1500VDC，正常1350VDC
●调节模式：功率、电压或电流
●交流线电压：200/208、400或480VAC
●电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/Φ
         400VAC：标称值8.5A/Φ
         480VAC：标称值7.5A/Φ
   5KW双输出/10KW单输出
200/208VAC：标称值35A/Φ
         400VAC：标称值17A/Φ
         480VAC：标称值15A/Φ
●尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）
●重量：5KW：21.4kg；5/5、10KW：30kg
Pinnacle® Plus+ 5KW、5/5KW、10KW

Pinnacle® 3000系列
Advanced Energy 的 Pinnacle® 3000 直流电源提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pinnacle 工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提高。
优势:
● 经过证明的 Pinnacle 性能和可靠性
●最大的工艺效率——最低的运行和安装成本
●通用性——在溅射工艺和偏压应用上均表现出色
●快速、可配置的弧反应——弧损伤少
●精确的工艺控制
●多种显示/控制选择
●符合安全/辐射标准
特点:
●业界最高的效率和功率因素
●紧凑——在一个 2-U、1/2支架封装中，功率达 3000W
●单输出抽头，疲惫范围广泛
●Profibus 和 RS-232 串行通信
●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间
●仅400 VAC 输入
●存储能量低——每千瓦输出不到6 mJ
●在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%
●Joule 模式——最优化的能量传送
●对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制
●储存设定自动保存
●有 CE 标志
规格：
●输入电压：400VAC±10%，3Φ，4线，50/60Hz
●输入电流：5A/Φ
●过流保护：10ADC
●输出功率：3KW
●输出电压：370-1000VDC满功率输出
●尺寸：87×216×517mm（高×宽×长）
●重量：9.1kg
Pinnacle® 3000W


Pinnacle® Diamond™系列
在工艺和偏压应用中，Pinnacle® Diamond™ 直流电源都能提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pinnacle 绝佳的工艺一致性和控制带来的额外益处是通过一个极其紧凑的部件大大减少了变化、提高了产量。
优势:
●经过证明的 Pinnacle 性能和可靠性
●最大的工艺效率——最低的运行和安装成本
●通用性——在工艺和偏压应用上均表现出色
●快速、可配置的弧反应——弧损伤少
●众多显示/控制选项
●精确的工艺控制
●符合安全/辐射标准
特点:
●业界最高的效率和功率因素
●紧凑——在一个 3-U、1/2支架封装中，功率高达 15kW
●单输出抽头，匹配范围广泛
●Profibus 和 RS-232 串行通信
●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间
●水冷式
●仅400 VAC 输入
●存储能量低——每千瓦输出不到6 mJ
●在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%
●Joule 模式——最优化的能量传送
●对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制
●储存设定自动保存
●有 CE 标志
规格：
●输入电压：400VAC±10%，3Φ，4线，50/60Hz
●输入电流：5A/Φ
●过流保护：30ADC
●输出功率：8KW、10KW和15KW
●输出电压：400-800VDC满功率输出（500-1000VDC可选）
●尺寸：8KW/10KW：499.7×132.3×215.9mm（长×宽×高）
   15KW：575.9×132.3×215.9mm（长×宽×高）
●重量：8KW/10KW：38KG
   15KW：20KG
Pinnacle® Diamond™ 8KW、10KW、15KW

AE DC系列.jpg (154.35 KB, 下载次数: 3)

维修案例图DC直流电源

MDX 500W.jpg (18.77 KB, 下载次数: 3)

MDX 500W

MDXII 8 12KW.jpg (29.78 KB, 下载次数: 2)

MDXII

MDX-L 12M.jpg (23.31 KB, 下载次数: 2)

MDX-L

PINNACLE 5 10 20KW.jpg (21.91 KB, 下载次数: 2)

PINNACLE

PINNACLE 6KW.jpg (28.98 KB, 下载次数: 2)

PINNACLE 6KW

PINNACLE DIAMOND.jpg (24.29 KB, 下载次数: 2)

PINNACLE DIAMOND

作者: powerservo 时间: 2008-3-18 15:31
选择AENI的四大理由：

•  价格优势比原厂及其它维修公司低10%-30%不等的价格,极具优势。

•  技术优势由国际顶尖的 RF 专家担当所有产品的维修、测试和调校工作，经验丰富、技术领先，值得信赖。

•  品质优势全部元配件经采用ENI/AE 原厂所选用的世界知名品牌供应商所提供的军工级商业级的元器件,并按原厂要求安装焊接,并经严格测试(ASSY TEST,FIRST TEST,SECOND TEST,SUPER TEST) 并可根据客户要求进行可靠性测试.要求严格,信心之选.

•  品保优势所有维修后的产品均保修月,保修期内同类故障免收维修费,只收元件费.如客户签订相应的维护协议每年收取一定的费用,终身包用,永无后顾之忧.

作者: powerservo 时间: 2008-3-19 15:58
还有很多资料，可以登录我们的主页：
www.aeni.com.cn 查看，感谢您的光临

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)