光电工程师社区

标题: 磁控溅射靶源结构探讨 [打印本页]

作者: dongbeiren 时间: 2008-3-18 16:15
标题: 磁控溅射靶源结构探讨
关于磁控靶的结构,不同的厂家有自己的设计特色,但本人目前只了解一些原理性的东西,对于内部结构,溅射后,跑道是如何形成的,为什么这样形成?为什么不在真空室内建立一个大的均匀的(相对)的磁场,靶作为阴极(平面),基板作为阳极而不是每个靶单独配置一个磁场?那位大侠慷慨一些,告诉我这个新手?

作者: dongbeiren 时间: 2008-4-23 16:18
这东东比较敏感,看来还是没有朋友交流,大家共同进步嘛?

作者: redlinn 时间: 2008-10-27 11:28
标题: 可能很少有人知道吧，我也想问呢
可能很少有人知道吧，我也想问呢

作者: chris_yun1113 时间: 2008-11-1 08:36
LZ对磁控溅射的原理不清楚，建议去看些资料。简单的说就是电场磁场同时控制2次电子的轨迹形成跑道，高中物理上有。

作者: chris_yun1113 时间: 2008-11-1 08:39
靶面上附着又N个小磁体（永久磁铁），然后用极靴固定。再给靶加电压，电磁场就形成了。
LZ认为在炉内控制一个均匀的磁场很简单吗?

作者: sea88sky 时间: 2009-1-15 11:43
靶面上附着又N个小磁体（永久磁铁），然后用极靴固定。再给靶加电压，电磁场就形成了。
LZ认为在炉内控制一个均匀的磁场很简单吗?

作者: yiheng 时间: 2009-1-18 14:23
有关磁控溅射的讲义,大家分享.需要磁控溅射源的可以与我联系.waitai868@YAHOO.COM.CN

作者: yiheng 时间: 2009-1-18 14:37
磁控溅射讲义,大家共享.有需要磁控溅射源的可以与我联系.waitai868@yahoo.com.cn

1溅射讲义.pdf

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作者: noodlesy 时间: 2009-1-18 16:50
8# yiheng

资料不错，就是太笼统了。有点看不懂！

作者: arraysputter 时间: 2011-5-28 23:35
靶材为条形的，每根靶材后对应一组永磁场。

作者: little998 时间: 2011-5-31 14:17
不懂，看一下！

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