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标题: 求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围 [打印本页]

作者: dongbeiren 时间: 2008-4-8 15:25
标题: 求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围
各位大侠好!!!!!
谁可以告诉我,离子束溅射镀膜中,粒子(沉积药材)的能量范围大致是多少?我想,粒子能量是影响膜层牢固度及其它性能的关键,当然,温度,真空度,药材匹配也很关键!!!
大家谈谈吧!

作者: dongbeiren 时间: 2008-4-9 15:19
学东西难,分享更难,进步是难上加难!拉兄弟一把吧!

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