光电工程师社区

标题: 求助 [打印本页]

作者: yongwu 时间: 2008-4-28 19:07
标题: 求助
最近在鍍膜過程中發現使用的晶控片有龜裂現象現，我們所使用的機台是台灣機台，

晶控是XTC2002六探頭，有時一次上六個晶控片，一鍋下來就發現有一~二個有龜

裂現象。機台加熱350度，晶控片是INFICON的。

請各位大俠幫忙找找發生的原因。

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作者: HGcoating 时间: 2008-4-29 09:20
如果你用了离子源，那就是参数不对。从先调整参数。

作者: optofilm2002 时间: 2008-4-29 10:17
可能是离子源的中和效果不好,电荷放电所致.

作者: optofilm2002 时间: 2008-4-29 10:19
建议你不开离子源,先试试看,是否还会有此现象?

作者: yongwu 时间: 2008-4-29 13:27
我們有用離子源助鍍，離子源參數設定是160V 5A ,但是出現龜裂現象的晶控片是沒用過的。

作者: sajian 时间: 2008-4-29 14:00
我是专业卖晶控的,联系我:13077864087,简先生

作者: huhu 时间: 2008-5-2 11:08
有趣的例子。

表面划痕好多！看起来旧旧的。

建议查查其余几片同时装入的晶振片的使用记录及表面状况。如果是放电，可能会有明显的跳频或其它异常状况。

作者: yongwu 时间: 2008-5-4 12:38
裝六片進去隻出現一到二片有上述現象，其他是好的

作者: 终南子 时间: 2008-5-5 16:04
你镀的是什么材料？为什么温度要烤那么高？也有可能是热应力或热膨胀造成的

作者: zzzz 时间: 2008-5-15 13:30
打火了

作者: APS1104 时间: 2008-6-1 18:42
温度烘烤太高了。也有可能是膜的应力或热膨胀造成的。

作者: jiayuch 时间: 2008-6-2 09:34
是不是晶控片本身镀金镀的不好？如果是离子源放电的话，那没用的晶控片上应该没有啊

作者: hezhiwei629 时间: 2008-6-2 14:46
应该好好检查下晶振探头,是不是有部分地方接触不好引起的.

作者: nation 时间: 2008-7-5 15:47
慢慢去分析吧，
这是比较细致的活。

作者: tfc 时间: 2008-7-7 17:57
你哪买的片子？买原装大厂试试．

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