光电工程师社区

标题: 电子枪速率 [打印本页]

作者: 无语了 时间: 2008-5-18 08:12
标题: 电子枪速率
双电子枪镀滤色片,SIO2速率设定8,实际只有4出现过几次,而且蒸镀结束后电脑里没有过程记录,怎么回事,大家帮忙分析下.

作者: zzzz 时间: 2008-5-19 08:44
1、设置错了
2、软件故障
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作者: 镀膜加游戏 时间: 2008-5-19 16:22
sensor 换一个新的！！

再有看看程序！

作者: 镀膜加游戏 时间: 2008-5-19 16:28
power 升到设定值了吗？

power 是多少？？你们的设定是多少？

作者: shaodong1311 时间: 2008-5-20 22:15
应该是你的SIO2的密度设置的不对，或者是Z值没设对，后者的希望比较大，你先看看！

作者: liyazhou 时间: 2008-5-27 10:47
设置问题或软件问题...........................................

作者: zzzz 时间: 2008-5-27 12:59
楼主解决问题了没?
怎么也没个回应啊.

作者: optin 时间: 2008-5-27 14:00
这个现象是瞬间的低点，并不会影响沉积过程。

作者: 镀膜加游戏 时间: 2008-5-28 09:10
这楼主真不厚道！！

没踪影了

作者: hezhiwei629 时间: 2008-5-28 09:49
应该是参数设置有问题了吧去查查IC/5的设置

作者: nation 时间: 2008-7-4 00:20
都是简单问题啊从材料入手解决。

作者: tfc 时间: 2008-7-4 08:14
不够详细,你是说蒸发速率太低吗?达不到8?那同时有什么现象?另一种高电流的正常?
镀SIO2时是不是探头被挡了,SIO2有没有镀的特别厚?

作者: 涛哥 时间: 2008-7-5 14:02
这是正常的,蒸发速率瞬间的波动是由信号噪音造成.只要持续时间不长就没事.

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