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标题: 求助！ [打印本页]

作者: zhaohao_1 时间: 2008-5-20 22:10
标题: 求助！
请各位为高手看看这样的膜系结构工艺上能实现吗？
层数材料膜厚/nm
1 Si 21.76
2 SiO2 101.89
3 Si 43.53
4 SiO2 101.89
5 Si 43.53
6 SiO2 101.89
7 Si 43.53
8 SiO2 101.89
9 Si 43.53
10 SiO2 101.89
11 Si 21.76
12 SiO2 200.92
13 TiO2 250.65
14 SiO2 401.85
15 TiO2 250.65
16 SiO2 401.85
17 TiO2 250.65
18 SiO2 401.85
19 TiO2 250.65
20 SiO2 401.85
21 TiO2 250.65
22 SiO2 200.92

作者: zhaohao_1 时间: 2008-5-21 07:21
大侠们帮帮忙阿！谢谢！！！！！！！！！！！！！！！！

作者: zzzz 时间: 2008-5-21 10:23
比较难
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作者: liyazhou 时间: 2008-5-27 10:46
可以.................................................

作者: zzzz 时间: 2008-5-27 13:02
楼上如何准确控制SI的折射率呢?

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