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标题: 膜料蒸发速率问题? [打印本页]

作者: APS1104 时间: 2008-5-28 11:49
标题: 膜料蒸发速率问题?
为何在蒸镀一层膜关挡板结束的一瞬间蒸发速率(绿线)突然显示很高?望各位同行帮我分析,小弟在此先谢谢各位.
请看下图:

[ 本帖最后由 APS1104 于 2008-5-28 11:59 编辑 ]

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膜料蒸发速率与蒸发功率曲线图

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膜料蒸发速率与蒸发功率曲线图

作者: zzzz 时间: 2008-5-28 13:11
挡板关了,一下没东西沉积上,晶控不适应了.

作者: jingxiaobao 时间: 2008-6-1 21:33
楼上说的很有可能，但是为何在开档板的瞬间，晶控又没有跳动呢？
按照道理讲，开档板时膜料也不会及时地沉积到晶片上。

作者: zzzz 时间: 2008-6-2 07:38
这要看设备的性能了
有的开板是会有突变,而关是不会
有的就和你遇到的一样了.

作者: shaodong1311 时间: 2008-6-3 12:38
莱宝机APS1104，
材料挡板先关闭，大概在0.5秒后离子源挡板才关闭，这样在这段时间里晶振片的震动是离子源粒子造成的，所以和材料引起晶振片震动不一样。
联系qq:172960707

作者: lzb0036 时间: 2008-6-5 22:18
APS1110有两个晶振片是在开档板的瞬间蒸发速率会很高，但关挡板结束的一瞬间蒸发速率正常，还有两个晶振片跟楼主一样

作者: APS1104 时间: 2008-6-6 23:24
谢谢大家的评论！lzb0036你的情况应该是在膜料预熔时已处于蒸发状态了，而且速率比你设定的理论速率要大，所以在开档板的瞬间蒸发速率会很高。

作者: tfc 时间: 2008-6-10 14:06
使用XTC/2的现象，开挡板往负的方向，关挡板往正方向，开挡板时因为有速率控制，所以难察觉。在信号线上加0。5——1欧母电阻就可能看到。关挡板，是非控制状态。所以。。。。。。。。。

作者: HGcoating 时间: 2008-7-22 09:36
我的也是一样的看上去速率突然变大，感觉以前没有这种情况，不知道是不是跟设置有关系。
另外：我搞镀膜还有些晶振片，估计要换工作了，所以
美国Fil-Tech镀金晶振片便宜卖，6MHz ,全新。剩下100片 30元/片。有需要的联系yjvfhp-j@163.com QQ:505622601 本人在武汉

作者: yogankin 时间: 2009-7-6 15:05
我是嘉兴晶控电子有限公司的,我公司主要从事晶振片的生产,采用全进口设备生产,质量跟进口INFICON,FILTECH一样,价格较进口的有很大优势,成都光机所使用我们的晶振片.我们的客户有水晶光电,凤凰光学,日本京瓷等.附件是我公司的简介,如有需要我们可以提供样品试样.联系方式:0573-83221133,15888310198杨先生

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