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标题: 请教霍尔源 [打印本页]

作者: jiayuch 时间: 2008-6-7 12:05
标题: 请教霍尔源
我们镀膜过程中霍尔源的阴极电压瞬间跳到很小然后回复，引起这种现象的原因有什么呢？

作者: qx__wei 时间: 2008-6-11 09:01
是否洁净问题，出现了不干净，在灯丝的连接部分

作者: jiayuch 时间: 2008-6-11 09:06
多谢多谢是离子源电源有问题了

作者: nation 时间: 2008-7-4 22:26
通常人们把它叫打火，
要对离子源的参数进行调整，
我是说如果你的离子源比较清洁的话。

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