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标题: 光弛机表面问题 [打印本页]

作者: 无语了 时间: 2008-6-7 14:09
标题: 光弛机表面问题
做滤色片时,成品表面白白的雾,工件盘烘烤温度260度,TIO2充氧1.5E-2,请教各位

作者: snebur 时间: 2008-6-11 22:46
温度降低一点呀，会好点的，

作者: lwt2004 时间: 2008-6-24 09:55
首先确认你的洗净方面和材料方面是否有问题，然后确认温度和APC

作者: nation 时间: 2008-6-30 23:01
呵，呵，白色的问题，这可是比较常见的问题啊。

作者: JZNT 时间: 2008-9-5 13:15
可能是基底被氧化,与APC的充氧量关系不大.

作者: HR-L 时间: 2008-9-14 08:07
这个白色物绝大多数情况是和清洗工艺有关,如清洗液的选择和脱水是否干净,烘干时间是否够长等。

作者: 超越 时间: 2008-9-17 19:28
温度或者氧气大小的问题

作者: lukaiyan 时间: 2008-12-2 20:59
又是白浊问题，与氧气和排气能力有关

作者: tfc 时间: 2008-12-3 10:18
你在镀前用强灯哈气检查下先。

作者: lukaiyan 时间: 2008-12-3 17:17
可能是TiO2的过度氧化

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