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标题: 2050机器的均匀性问题 [打印本页]

作者: qx__wei 时间: 2008-6-11 09:09
标题: 2050机器的均匀性问题
2050的机器，除了MASK的形状外，均匀性的其他影响因素都包括哪些！？谢谢，请指导！！！
一直没调好均匀性

作者: liwenjuanlwj 时间: 2008-6-11 10:46
你这机器调的时间够辛苦了，加油！

作者: snebur 时间: 2008-6-11 22:31
2050 这么大的设备，那不是要好几台抽气泵。

作者: zzzz 时间: 2008-6-12 12:50
主要有离子源位置\参数,电子枪位置\参数

作者: zzh1011 时间: 2008-6-12 12:53
这么大的设备，均匀性是不好搞！

作者: 777秋枫 时间: 2008-6-12 13:34
这么打的机器，打料位置的重复性也很重要

作者: qx__wei 时间: 2008-6-18 13:14
是啊！MASK形状都要试验很多次，还有离子源的角度！！！

作者: AppliedThinFilm 时间: 2008-6-19 20:51
行星夹具还是？

作者: qx__wei 时间: 2008-6-20 01:13
普通的转架，转架变形，工装板变形都对彩膜的均匀性影响很大

作者: AppliedThinFilm 时间: 2008-6-20 11:09
mask尽可能贴近工件架，并保持稳定

作者: qx__wei 时间: 2008-6-20 15:09
MASK 的高度已经固定了，形状很难调整！变化比较大！最近发现一个问题，工装板和转架的变形给均匀性造成很大的影响

作者: AppliedThinFilm 时间: 2008-6-20 19:39
是的，均匀性稳定的前提是基底位置和角度的稳定。
控制片的厚度控制能稳定么？

作者: qx__wei 时间: 2008-6-21 10:45
使用的不是光控，是晶控，

作者: nation 时间: 2008-7-1 01:50
都一个原理，但你的设备比较大，很多厂家做的是水货机器，没有从沉积的原理去设计机器，如果你的操作没有错，哪可以要厂家将设计的参数拿出来，看合不合理。

作者: AppliedThinFilm 时间: 2008-8-31 08:54

原帖由 qx__wei 于 2008-6-11 09:09 发表
2050的机器，除了MASK的形状外，均匀性的其他影响因素都包括哪些！？谢谢，请指导！！！
一直没调好均匀性

qx_wei，均匀性调的怎么样了？

作者: shuangzixing 时间: 2008-8-31 21:48
这么大的机器建议用行星架

作者: tfc 时间: 2008-9-1 08:41
均匀性是有多方面的因素影响。
你还是先做好重复性比较好。如果重复性不好，做均匀性是浪费，也做不好。
做，容易；做精，难啊。

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