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标题: EUV镀膜 [打印本页]

作者: huweiqian 时间: 2008-6-24 13:05
标题: EUV镀膜
附件中所示为这次在德国OPTOTEC2008拿到的关于EUV的镀膜的资料，由IOF的KAISER做的。大家讨论一下国内制作这种高精度薄膜的能力，以及国内哪里可能会做这样的薄膜？听说国内也要开始做EUVL了。

EUV coating by IOF.pdf

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作者: nation 时间: 2008-6-30 22:55
是莱宝的机械简介吗，能够做到比这更加好的国内多的是。

作者: huweiqian 时间: 2008-7-1 13:53
这个不是莱宝的机械简介，你说国内比这更好的多的是，麻烦给我举个能够做13NM波段的反射膜的单位出来？反射率做到了多少？

作者: jiayuch 时间: 2008-7-1 16:10
13nm波段用什么材料？

作者: zzzz 时间: 2008-7-1 16:42
Mo/Si了
R>66%

作者: jiayuch 时间: 2008-7-2 10:28
13nm 波段用什么仪器测量反射率啊？

作者: huweiqian 时间: 2008-7-2 12:27
标题: 回复 5# zzzz 的帖子
国内哪个研究机构做到这个水平了？

作者: nation 时间: 2008-7-17 01:05
长春光机所
可以去问，我听同事说他们做过这个，

作者: huweiqian 时间: 2008-7-17 13:37
你是说原来的王占山先生吧，不是现在在同济大学了嘛？要不还是你问问？

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