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标题: VEECO机Al靶的工艺参数 [打印本页]

作者: cuijingbo 时间: 2008-8-12 08:40
标题: VEECO机Al靶的工艺参数
哪位同仁有VEECO机的Al和Ti的工艺参数？

作者: ferry 时间: 2008-8-26 16:47
楼上的朋友,你们用的是VEECO的机器吗?是不是spector(IBD)离子束溅射系统啊.怎么联系.

作者: cuijingbo 时间: 2008-8-26 20:40
标题: 是离子束溅射系统
是离子束溅射系统,您用过么?

作者: ferry 时间: 2008-8-27 18:12
想用这个系统做个AL2O3膜,不知兄弟是哪个单位,能联系下吗?
ferrylei@126.com

作者: nation 时间: 2008-8-27 21:56
要自己找，自己去摸才可/。

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