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标题: MGF2的保護膜 [打印本页]

作者: baron 时间: 2008-8-26 19:10
标题: MGF2的保護膜
最近發現鍍單層MGF2的硬度不夠，大家有沒有發現類似的問題，怎么解決的？？除了提高溫度外

作者: zzh1011 时间: 2008-8-26 23:29
加(IAD)呀！

作者: jingxiaobao 时间: 2008-8-28 22:34
温度使用在300度,把真空度再提高一些(如2.0E-3Pa),如果还是不行的话,就要考虑基板是否有清洗干净或者镀膜机的抽速了.

作者: baron 时间: 2008-9-1 18:45
谢谢,我试式看,都没有加保护的吗

作者: chongying 时间: 2013-12-25 10:28
改用氧化硅试试看

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