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标题: 真空室里面细细的点子 [打印本页]

作者: baron 时间: 2008-9-1 18:39
标题: 真空室里面细细的点子
最近一段时间,发现还没镀膜之前,基片已经有细细的点子,而且上下两个面有时候都有,有的时候中间重一些,抽真空和旋转同时进行的情况下,大家有没有见过类似的事情?如何解决??可能跟镀膜机里的哪个系统有关

作者: lukaiyan 时间: 2009-3-23 17:47
炉内太脏引起的，注意清洁度，还有空气干燥注意湿度和静电。

作者: gxbm 时间: 2009-3-30 11:33
洗吧，那还等什么。。。。。。。。。

作者: JZNT 时间: 2009-3-30 15:46
主要还是炉内较脏，真空室内打扫不彻底。还有就是车间的洁净度达不到要求。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-9-6 16:38
炉内太脏，我试试，看谢谢了

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-26 15:51
注意机器的清洗

作者: LOUYC 时间: 2013-7-22 14:52

作者: crl0129 时间: 2013-12-13 12:05

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