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标题: 流量不稳 [打印本页]

作者: niechunyang 时间: 2008-9-16 20:16
标题: 流量不稳
最近镀膜时候离子辅助，离子源用的氩气流量总是不稳定，到十几层的时候就干脆没流量了，郁闷不知道怎样？各位见解

作者: zhangzf 时间: 2008-9-16 22:38
没流量?是显示没流量,还是没有氩气进入真空室.流量不稳定时,真空度是否跟着变化?
不知你用的是什么机型及流量控制器,不好判断.手动时是否正常.

作者: tfc 时间: 2008-9-17 10:16
必须描述清楚所有现象才能分析原因。
我猜是钢瓶压力调节得不合适？

作者: warstorm 时间: 2008-9-17 16:10
你镀膜时是不是用的压力控制，固定真空度的？
当膜料放气，或者其他一些原因使气压升高，充气就没有了，你可以适当的将设置压力调高一点就可以了

作者: hezhiwei629 时间: 2008-9-18 09:58
你所使用的离子源中氩气是在产生偏转电压的时候用到的吗？

作者: mm4al 时间: 2008-9-19 09:50
请问各位
这会不会和流量设置的太大有关呢

作者: niechunyang 时间: 2008-9-19 20:26
这个跟跟压力设置关系不大吧，设置合理呀，只是关掉再开就好了，是不是与流量计有关系呀

作者: zhangzf 时间: 2008-9-19 20:36
你的流量是自动控制还是手动控制的,自动控制可以通过检测流量控制器信号来判定是哪个环节出问题.
手动控制的就更简单了,换相关部件来确认.

作者: caoooo2008 时间: 2008-9-21 20:46
你看看是不是流量计故障了，或者是你流量计的地线没有正常接地。

作者: gxbm 时间: 2008-9-22 09:15
流量计坏了，十有八九．

作者: angel315 时间: 2008-10-5 13:35
国产流量计的故障率是比较高, 我们用进口AE公司的. 要判断是否真实进气, 要装流量显示器和气体分析仪, 好在线监控.

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