光电工程师社区

标题: 韩一镀膜机AR膜-花斑 [打印本页]

作者: 无语了    时间: 2008-9-18 10:32
标题: 韩一镀膜机AR膜-花斑
韩一机镀AR膜时出现部分镜片花斑,基片为BK7,

机器条件为烘烤360度,以前用一膜系做没有花斑,由于带宽不够,从新搞了个膜系,做了几炉没有花斑

今天突然出现20%的花斑,机器大约20天没有清洗,

请各位帮忙分析下原因。
作者: mm4al    时间: 2008-9-18 10:37
既然做了几炉没问题那么就应该是机器清洁了..........
还有可能是膜系结构的设置......
作者: tfc    时间: 2008-9-18 16:34
一般认为是膜系结构的问题,请把结构传上来。
作者: 章钱国    时间: 2008-9-21 05:04
也不一定啊,既然做了几炉都没有,那说明这个膜应该是没问题的,你试试看你的机器是不是有什么问题。还是基底不干净造成的啊
作者: zzzz    时间: 2008-9-22 08:18
20天没洗机器啊
那个汗啊
作者: zheng    时间: 2008-9-23 20:22
真牛,我们最长也就半个月,现在我们的AR机都是一个星期清一次。
作者: INTEC镀膜机    时间: 2008-11-10 18:54
真牛啊,我的镀膜机最多也是一个星期清洗一次。
那个汗啊。
作者: zhouchen0510    时间: 2008-11-13 21:53
花斑就个镀出来就有吗?看看你们当时的工作环境怎么样呢
作者: yzhuang    时间: 2008-11-14 21:43
很可能是楼主用了TiO2膜料的原因
作者: shuangzixing    时间: 2008-11-19 18:47
我们也发现过镀膜后过一段时间在基片表面出现花斑.但膜牢固度很好.望高手解决
作者: 280345601    时间: 2008-11-19 22:07
基底上的一层是什么料
作者: onet7575    时间: 2008-11-20 09:00
基片本身也有可能出现问题,潮湿,发霉的玻璃镀出来也可能出现花斑.镀膜十年了,经验判断不是膜系的问题,还有就是设备都要定期保养的,那么久不保养出问题也正常.
作者: zzzz    时间: 2008-11-20 10:09
十年
又见十年
作者: shjygx    时间: 2008-11-21 13:03
梅                                           花
作者: lukaiyan    时间: 2008-12-2 19:48
有可能没有洗净干净,有水印。
作者: GR800322    时间: 2008-12-5 15:30
韩一我不是很懂!!!但我觉得主要从以下几方面考虑:1.有可能是潮斑,就是基底,夹具,膜料等器件受潮。2.有可能是zro2或者TiO2等在真空条件下失氧造成的。你要是用离子源或者用压控仪控真空那就不用考虑此因素。楼主最好是把你用的材料写上来,那样更有针对性!!
作者: Wujiantao    时间: 2009-1-2 16:47
我想跟机器环境,工作环境和基底外观有直接的关系,我用的是韩一的机器,我们都是两天清一次
作者: 森林小树    时间: 2009-1-4 08:51
洗净时强洗一下,看看效果,机台最好一周洗一次,如果还没改善就换膜系了,最好能上传一下,帮你分析一下
作者: meilirensheng    时间: 2011-9-3 23:58

作者: 革命小酒    时间: 2011-10-2 23:24

作者: fql3310    时间: 2011-10-5 19:58
花斑?镀膜机是碘钨灯烘烤吗?电子枪打火吗?没有其它问题了!
作者: fql3310    时间: 2011-10-5 19:59
离子源灯丝打火?
作者: haitao1573    时间: 2011-10-28 20:07
20天没洗机器 没见过什么样的
作者: zhangmo    时间: 2011-11-25 15:06
与材料工艺有关,我们也遇到过
作者: zhesky    时间: 2012-6-16 00:07
大哥,我 也在用韩一,一般来说AF就 是300,差不多10天清一 次,AR7天清一次,20多天




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