光电工程师社区

标题: IR膜问题 [打印本页]

作者: 破冰而出 时间: 2008-9-22 09:02
标题: IR膜问题
最近做，650±10NM 规格的IR膜，DOME外排出现透过区域部分整体偏低情况，请各位帮忙分析下。

420-630NM，透过率正常镀是92%左右，现在只有90%，

光控控制。

89.5 KB, 下载次数: 75, 下载积分: 光电贝 -10 元

作者: HOM2 时间: 2008-9-22 09:41
不知道外排外到什么程度，如果是以前没有最近才有的又或者是不理它镀着镀着自己有好了，应该不是充氧不均的问题，应该是黑药被污染了或者是用的太久了。重新熔新药试试看吧！

作者: zzzz 时间: 2008-9-23 11:11
是不是均匀性恶化了

作者: 破冰而出 时间: 2008-9-23 12:53
外排当然是最外排了，伞的边缘那一圈，药材污染？
我们2台机器都出现了这种情况！

均匀性恶化是什么意思，能说的具体点么？前3圈都是正常的，只有
最外圈才这样，请各位帮忙分析！

作者: gxbm 时间: 2008-9-23 15:27
什么设备？多大？

作者: huang12949 时间: 2008-9-23 21:08
修下修正板试试先.
找别的原因都是一些暂时性的瞎扯蛋.
如果修正板修了都没反应再找这些没法说的明白的原因吧.

作者: niechunyang 时间: 2008-9-24 21:19
仁兄，你的滤光片什么要求，我也在做这个东西，可以探讨，你那个多少层，我做了记录也！

作者: 9080765256 时间: 2008-9-24 21:47
问题解决了没有？？？？？？？？？？？

作者: 破冰而出 时间: 2008-10-9 21:45
标题: 回复 6# huang12949 的帖子
问题解决了，是侧壁太脏了，加热管太脏了，灰尘就会增加，这样影响氧气到达外排的几率。

作者: lzh123jy 时间: 2012-5-24 23:40
可以是充氧的不合适，及离子源功率或角度的问题等等～～！

作者: lzh123jy 时间: 2012-5-24 23:41
可能是充氧的不合适，及离子源功率或角度的问题等等～～！

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)