光电工程师社区

标题: 求助 [打印本页]

作者: wangj101 时间: 2008-9-30 11:05
标题: 求助
最近镀膜真空计显示极不稳定！数值上下翻动，并且抽速也慢的很！一般到4。5E-3要3小时左右！郁闷！用的是北仪的机器！所以想请教一下大家！

作者: zzh1011 时间: 2008-9-30 12:23
把真空规管放气试一试！

作者: angel315 时间: 2008-9-30 20:13
国产真空仪就是这样子的, 是不是真空规管使用久了, 或是机器停机时间较长, 导致灯丝老化了, 要定期更换真空规管, 还也要检查是否线路接触不良. 我们以前真空仪也是这样, 后来全换为进口真空仪, 只需定期清洁就好了.

作者: 999520 时间: 2008-12-14 19:31
将灯丝换换在看，将机器清理一下。

作者: shjygx 时间: 2008-12-15 12:29
微漏气，鉴定完毕。。

作者: 苏州膜头 时间: 2008-12-31 21:21
1# wangj101

3小时.天啊.不要做了烘烤温度不知几度?40分钟可以了.关高阀看看真空能否保持.不能就查真空室.能就从前级泵口查

作者: hong 时间: 2009-2-7 22:33
机器可能太脏，还有就是规管老化，最重要一点是扩散泵油要换了，我以前碰到过，油换了就好了

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