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标题: 设备重复性不好,多是由什么原因引起的? [打印本页]

作者: ferry 时间: 2008-10-8 17:53
标题: 设备重复性不好,多是由什么原因引起的?
有1100的机器,现在做单层TiO2膜时,重复性不好(峰值680时,每次偏差都在20-30,峰值为700-710),不知到底是何原因,请各位高人指点一二,你认为,设备的重复性不好,多半是由什么原因引起的呢?

作者: angel315 时间: 2008-10-8 19:03
若是每次都有20-30的偏差那好办,可能是膜料的折射率有偏差, 或是晶控需校正, 或者直接镀薄点就可以了.

作者: ferry 时间: 2008-10-9 11:36

原帖由 angel315 于 2008-10-8 19:03 发表
若是每次都有20-30的偏差那好办,可能是膜料的折射率有偏差, 或是晶控需校正, 或者直接镀薄点就可以了.

每次工艺实验时,参数设置都是一样的.
晶控更换了新的,问题依旧
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不知膜料的折射率由工艺引起的偏差能有多大?
在同样机型的另一机器上,同样的配置和工艺,重复性却比之好许多.
呵呵,直接镀薄点,要是需要镀较厚时,那又该怎么办啊?

作者: tfc 时间: 2008-10-9 15:34
先说说你的机器什么牌？主要情况？
特别国产机原因是非常多的。
你是怎么控制？
两机器不同，比较了透、反射率吗？
总之，越详细的描述，越易找问题。

作者: qjy 时间: 2008-10-9 16:27
哎呀！怎么门里拿不进去扁担了呀！按照比例算一下就完了嘛！你说的问题是所有镀膜的都天天遇到的问题，所以说根本就不是问题

作者: ferry 时间: 2008-10-9 16:35

原帖由 tfc 于 2008-10-9 15:34 发表
先说说你的机器什么牌？主要情况？
特别国产机原因是非常多的。
你是怎么控制？
两机器不同，比较了透、反射率吗？
总之，越详细的描述，越易找问题。

先说声谢谢!
机器是南光的,现在还在调试过程中.
电子枪为双枪,晶控为MDC360双探头.
做设备重复性实验时,采用晶控,出现的问题主要是:晶控中设定同样的沉积速率时,电子枪的束流每次都会有有所偏差,其他元件显示都还正常.
有光控国产的,对单层,不太信任其精度,还没有用过,

作者: cikelong2000 时间: 2008-10-9 16:44
可以有机会看看我们公司的全自动光控系统和宽光谱光控的介绍呀，对于重复性保障比较大，可以登陆ＷＷＷ．ＢＴＯＥ．ＣＯＭ．ＣＮ看看

作者: cikelong2000 时间: 2008-10-9 16:46
我的联系方式１３６９３５７２８９２，xlli@goldway.com.cn

作者: huang12949 时间: 2008-10-9 17:51
大哥，就算是同一样的机型，同一个膜系要求，每台机的数层基本上是不一样的．要以机为本，可不能以人为本！

作者: ferry 时间: 2008-10-10 13:20

原帖由 qjy 于 2008-10-9 16:27 发表
哎呀！怎么门里拿不进去扁担了呀！按照比例算一下就完了嘛！你说的问题是所有镀膜的都天天遇到的问题，所以说根本就不是问题

老兄,我都认出你来了,你不知道我是谁啊,晕!

作者: ferry 时间: 2008-10-10 13:23

原帖由 huang12949 于 2008-10-9 17:51 发表
大哥，就算是同一样的机型，同一个膜系要求，每台机的数层基本上是不一样的．要以机为本，可不能以人为本！

没错,我也赞成以机为本
机器尚处验收阶段,当初定合同时,可是根据自家产品的精度要求提了这样的指标,
相对来讲,我的指标已经不算高了,而且据厂家讲,他们以前的设备重复性全都可以满足我现在提的指标要求的.
现在的情况看,不是系统公差的问题.

作者: tfc 时间: 2008-10-14 17:47
是现代南光吗？
猜测：1。晶控探头的位置偏高。2。把电子枪扫描停住试。3。探头振动。4。本底真空低，每次不同。5。设备漏率偏大。6。晶控受干扰。

作者: ferry 时间: 2008-10-16 16:25
是哪家南光就不说了,呵呵,对厂商影响不好
感谢你提出的意见,会给厂家反映,全面试下.老实说,早就过了预定验收日期,都拖了很长时间了.
急啊.

作者: tfc 时间: 2008-10-17 10:50
“早就过了预定验收日期”，国产设备厂都是这样，违约了不受处罚。所以他们尊重技术的程度就是免费学来，因此跟不上需求，我认为你的问题都不在硬件上，是厂家技术力量的事，或他们管得不够。

作者: 章钱国 时间: 2008-10-17 21:52
你是那里的啊做什么产品啊，可以联系我啊，我的电话是15059236473

作者: 章钱国 时间: 2008-10-17 21:55
国产机我做的多了，一般有两大问题，一个是重复性，一个是均匀性啊，我做这行七年了，做的机器有韩国的，SATIS 总体来说，进口机的重复性就是比国产的好啊。这点你不得不佩服别人啊。

作者: 章钱国 时间: 2008-10-17 21:59
你们那里要镀膜工程师吗，如果有需求的话，可以联系我啊，我的电话j15059236473

作者: ferry 时间: 2008-10-18 09:28

原帖由 章钱国 于 2008-10-17 21:59 发表
你们那里要镀膜工程师吗，如果有需求的话，可以联系我啊，我的电话j15059236473

呵呵,你来了,我就下岗了.

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