光电工程师社区

标题: 抛光纹路困扰 [打印本页]

作者: sunday_zh    时间: 2008-10-17 10:50
标题: 抛光纹路困扰
我是论坛新丁,有个棘手的问题想请教各位大侠,请不吝赐教。

材料是人工水晶晶片,进行双面平面抛光,抛光粉为CeO2 #8000目,抛光液利用马达循环,上、下盘都贴付有浅槽的黑色抛光皮,抛光时上、下盘各自顺逆时针转动,上盘没有气压控制,靠上盘自身重量。

晶片抛光完成后,用激光干涉仪可以看出晶片满面都有有规则的抛光纹路,请问:这个怎么可以解决?谢谢!

我联系方式:QQ 109247377     MSN sunday_zhaoming@hotmail.com

IMG_8966.JPG (1.52 MB, 下载次数: 25)

IMG_8966.JPG

作者: nesong    时间: 2008-10-17 13:14
标题: ??
黑色抛光皮是什么东东?还有你的上盘没有气压装置,靠自身重力挤压对与不同产品来说是不合适的。有可能你的这个片子正好压力过大留下印记
作者: 岛主    时间: 2008-10-17 15:55
图像是干涉条纹,应该没什么问题
作者: JSKWXZ    时间: 2008-10-17 20:02
水晶的没做 ...................好像是图像 干涉条纹,应该没什么问题
作者: zzzz    时间: 2008-11-3 09:58
纵向的是干涉纹,横向的好象是抛光纹路了.
作者: weihua815    时间: 2008-12-4 13:08
1111111222255566666999999
作者: ds1234567    时间: 2008-12-4 15:45
纹路是指擦痕,这哪是擦痕。垂直的是两面干涉的结果,表明左右是楔角方向,哪面薄需要用手指点一会,局部加热,条纹凸向薄端。横向条纹是表面与干涉仪标准面干涉的结果。具体是前后那个,你用油涂破坏一面就知道了。从两面的干涉图可见边部塌边1道圈,高低是低光圈2道。原因是抛光皮软,抛光时间长。
作者: nkclone    时间: 2008-12-8 17:00
楼上讲的不全对。
垂直方向干涉条纹,清晰的,是面形(光圈数)
水平方向干涉条纹,较模糊的,是镜片的平行度,因为平行度的判断与镜片尺寸有关,粗粗估计,20"左右,对双抛而言,是比较差的了,同意LSD的改善方法
作者: wdydede    时间: 2019-7-29 12:09
受教了,非常感谢!




欢迎光临 光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/) Powered by Discuz! X3.2