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标题: 关于莱宝aps904离子源的问题 [打印本页]

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-10-20 18:57
标题: 关于莱宝aps904离子源的问题
各位前辈，本人操作的aps904离子源最近出现一个问题，
在碳棒和LaB6换了新的以后（已激活），旧的坏了，离子源出现放电电压不稳定的问题，变化幅度比较大，之前比较稳定。偏转电压比放电电压低30-40V（TiO2. SIO2）,之前偏转比放电高12V左右。
碳棒和LaB6新，阳极桶新，陶瓷部件旧，边缘变黑碳化，有略微磨损。
问题：
如何解决离子源不稳定现象？
陶瓷部件怎么清理？我们用银砂纸，但效果不好。

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-10-21 11:32
没人懂啊？高手出现出现出现

作者: tfc 时间: 2008-10-21 16:43
三个原因：接触、漏电、不清洁。
你仔细检查电极插脚座之间应该有石墨的残留物，彻底除去。
BN6用好的小刀轻轻刮除黑色。
装好电极，观察不可露出石墨。
执行解毒程序。
以上全部做一次，应该可以解决。

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-10-21 21:50
终于有人出现了，谢谢，谢谢

今天拆了下离子源，那个小的锥形BN6受损了，换掉。碳棒2角之间很干净，因为是新换的。清洁了一下，好点，放电电压平稳了。但是偏转电压还是比放电电压低，但不是低那么多，不知道这个应该怎么办？
前辈知道的话，希望能告知啊，

作者: mangovc 时间: 2008-10-22 07:51
以前使用偏压就比放电电压低吗？我用的是APSPRO和你的那个应该有一点点区别,你所说的偏转电压，是不是指BIAS电压啊？在我们这放电电压要比偏压低才对啊，你们有没有尝试调节一些参数？例如气流量，线圈电流。

作者: zzzz 时间: 2008-10-22 08:18
偏压是设置值,而放电电压应是动态值

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-10-22 13:05

原帖由 mangovc 于 2008-10-22 07:51 发表
以前使用偏压就比放电电压低吗？我用的是APSPRO和你的那个应该有一点点区别,你所说的偏转电压，是不是指BIAS电压啊？在我们这放电电压要比偏压低才对啊，你们有没有尝试调节一些参数？例如气流量，线圈电流。

回5.6楼，在以前的正常的情况下，BIAS电压比放电电压高十几V左右。BIAS电压应该就叫偏转电压吧？偏转电压和放电电压一样是受可控的啊，调节气体流量对放电电压和偏转电压的影响是一样的，同高同低。线圈电流一直是常数，没动过。
昨天发现LaB6的有氧化的痕迹，会不会氧化的原因？重新激活下会不会好点？

作者: tfc 时间: 2008-10-22 14:23
过了太多年了，都忘了很多，放电电流低就会升高电压。
总的来讲，没有实质性问题，都是可拆部分安装问题。
首先拔出石墨后，用强光手电筒照射内部，仔细观察两脚插座的缝隙内应该有脏物。
不然是镀银链的安装缝中有，
用锯片把石墨最薄处再锯一点。

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-10-22 18:34
呵呵，收到，明天再看看，谢谢

作者: mangovc 时间: 2008-10-23 07:54
BIAS电压应该叫偏置电压，简称偏压和偏转电压是有很大区别的。3楼的TFC不是说，要解毒吗？其实我们一般把参数设置低一点，让APS点一会就解毒了。不过开真空室门记得开热水~~

作者: zzzz 时间: 2008-10-23 08:24
看来楼主仍对APS源不了解啊
还是全部更新下阴极组件吧,看看是否正常

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-10-23 11:08

原帖由 zzzz 于 2008-10-23 08:24 发表
看来楼主仍对APS源不了解啊
还是全部更新下阴极组件吧,看看是否正常

.国企啊，机器到我手里什么资料都没有，都在摸索中前进啊，好机器都浪费了，让我练手了。悲哀啊悲哀。生产任务忙的时候，APS的部件一个月换一件，不是这坏就是那坏，没有正确的使用指导啊。反正是花国家钱都不心疼，要是在别的企业老板早毛了，呵呵
那位大哥有资料发给我一份吧，haisheng_0_0@163.com.谢个先

作者: fql3310 时间: 2008-10-23 15:03
我是有一份APS904离子源解毒程序，不过放家里了。你的主要问题是清洁离子源和给离子源解毒。解毒程序所用的时间大概要2小时左右，（有晶振片的要把晶振片包起来）原因是阴极氧化即所谓的中毒。解毒时不用氧气用氩气，先一步一步把放电电流加到50A（从8A左右开始）。这个主要根据放气量来依次加放电电流。一般新的阴极要先除气。所用的时间也差不多要2小时或更长点。放止以后容易中毒。

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-10-24 11:41

原帖由 fql3310 于 2008-10-23 15:03 发表
我是有一份APS904离子源解毒程序，不过放家里了。你的主要问题是清洁离子源和给离子源解毒。解毒程序所用的时间大概要2小时左右，（有晶振片的要把晶振片包起来）原因是阴极氧化即所谓的中毒。解毒时不用氧气用氩气， ...

谢谢TFC，呵呵，解毒程序我这里有的，重新解毒过后现在好了，呵呵，谢谢各位，不过有别的资料可以发给我看下，挣钱不容易啊。

作者: tfc 时间: 2008-10-25 11:08
互相帮忙嘛，希望大家都能够真诚交流。

作者: 280345601 时间: 2008-11-3 01:34

原帖由 zzzz 于 2008-10-22 08:18 发表
偏压是设置值,而放电电压应是动态值

貌似设置偏压线圈电流会动态变化不是对离子场影响较大么

作者: 280345601 时间: 2008-11-3 01:39

原帖由 tfc 于 2008-10-21 16:43 发表
三个原因：接触、漏电、不清洁。
你仔细检查电极插脚座之间应该有石墨的残留物，彻底除去。
BN6用好的小刀轻轻刮除黑色。
装好电极，观察不可露出石墨。
执行解毒程序。
以上全部做一次，应该可以解决。

电极插脚很深啊！请教如何除去有什么专用工具吗
小刀刮哪部分尖端很容易受损专用的清洁布不知道哪里买的到

作者: CHENMING_520530 时间: 2008-11-6 16:54
发现LB6颜色有变化，要把所有的东西拿出来擦过，重新做一次DEGES,

作者: 破冰而出 时间: 2008-11-14 10:12
请教几位大师,阳极桶就是石英震荡器么(那个玻璃碗)?
阴极指的是那3片栅极片么?
石墨指的是哪个部件?
APS中文意思是什么,或是一种型号?
偏置电压指的哪个?是ACC么?
放电电压指的哪个?是BEAM显示的电压值么?

盼回复!!谢谢

作者: 破冰而出 时间: 2008-11-14 10:13
解毒是什么意思,方法如何?有解毒程序可以送一份么,学习下,谢谢
wangyihang1@163.com

作者: haisheng_0_0 时间: 2008-11-15 19:12
标题: 回复 19# 破冰而出的帖子
呵呵，我们说的是莱宝的离子源，别的机器的离子源和这个结构不一样的。好像这种离子源只有莱宝的做的比较成功。你说的好像不是这种吧。

作者: zzzz 时间: 2008-11-17 10:10
回16楼:
APS里工作时应是动态变化地,因此设置某些值后必然有某些值是动态变化地以适应固定值.

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