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标题: 膜表面的麻点，什么原因？ [打印本页]

作者: besst 时间: 2008-11-4 10:46
标题: 膜表面的麻点，什么原因？
作了几个膜，发现有些膜表面有些麻点，不知道什么原因，附件为比较明显的一个，(基底为硼硅玻璃)，膜系为氧化钛、氧化硅。另外一张照片为表面污，不知道什么原因？请邦忙分析，谢谢。

2-表面麻点.JPG (2.94 MB, 下载次数: 29)

3-表面污.JPG (2.93 MB, 下载次数: 21)

作者: besst 时间: 2008-11-4 10:50
镀前用显微镜看过，表面质量都比较好。

作者: tfc 时间: 2008-11-4 10:56
镀前用高强光观察吧。

作者: besst 时间: 2008-11-4 11:10
镀前用高强光观察?什么意思？

作者: noodlesy 时间: 2008-11-4 12:18
是电子枪镀的？还是建设？

作者: besst 时间: 2008-11-4 12:41
是用电子束+离子源镀的啊。

作者: JZNT 时间: 2008-11-4 13:24
我们也有这种情况，在镀件的边缘，镀前强光检查是好的，不知道什么原因？请帮忙分析，谢谢。

作者: noodlesy 时间: 2008-11-4 14:54
应该是材料造成的吧。

仅供参考

作者: zzzz 时间: 2008-11-5 16:42
什么表面坑坑洼洼的啊

作者: huhu 时间: 2008-11-5 21:17
屏幕图片放大倍数是多少？最里层和最外层材料分别是什么？

作者: coraldz 时间: 2008-11-5 21:42
跟镀膜材料熔的有关系么？

作者: besst 时间: 2008-11-7 15:46
放大400倍，有高手解答一下？

作者: ZHJ7239 时间: 2008-11-8 20:01
可能离子源打火所至,还有可能膜料喷溅引起

作者: APS 时间: 2008-11-14 14:42
标题: 回复 12# besst 的帖子
镀膜前有清洗过吗?如果一般超声波清洗不行的话,可以考虑等离子表面清洗活化

作者: zguibin 时间: 2008-11-17 08:01
你的就是氧化钛预熔不够！氧化钛料脏溅料了！下次开镀前把材料预以下就OK了

作者: lukaiyan 时间: 2008-12-2 20:27
应该是针孔现象，把炉打扫干净，主要车间的空气湿度不要太干燥。

作者: GR800322 时间: 2008-12-5 15:05
还要考虑夹具的因素！！！这里面很多因素，真要搞明白了，那你就牛X了！！！！！！！！！！搞镀膜的都知道主要是一下方面：蒸发源（材料，电子枪），真空室，基底，离子源，夹具等方面。但是真正原因和过程又有几人能说明白？？？？？

作者: GR800322 时间: 2008-12-5 15:12
还要考虑夹具的因素！！！这里面很多因素，真要搞明白了，那你就牛X了！！！！！！！！！！搞镀膜的都知道主要是一下方面：蒸发源（材料，电子枪），真空室，基底，离子源，夹具等方面。但是真正原因和过程又有几人能说明白？？？？？

作者: shjygx 时间: 2008-12-5 16:46
摸一摸，摸得出就是材料喷溅

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