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标题: 供应准分子激光器 [打印本页]

作者: antelaser 时间: 2008-11-20 11:30
标题: 供应准分子激光器
1. CL5000系列准分子激光器

应用领域

光谱学

光纤布喇格光栅制造

材料微加工

精细激光打标

激光气相沉积

技术特性

体积小，紧凑

激光功率稳定

气体使用寿命长

电脑控制

预制混合气体

ArF
KrF
XeCl

激光波长（可以157nm）
193 nm
248 nm
308 nm

放电管材料
陶瓷

预电离
光晕

脉冲能量
20 mJ
40 mJ
25 mJ

平均激光功率
CL 5100
CL 5200
CL 5300


2 W
4 W
5 W


4 W
7 W
10 W


2.5 W
4.5 W
6.5 W

最大脉冲重复率
CL 5100
CL 5200
CL 5300


100 Hz
200 Hz
300 Hz

脉宽2
8-10 ns
9-11 ns

脉冲能量稳定度
西格马< 2%

光斑尺寸
5 x 12 mm
6 x 12 mm

光束发散角
2 x 4 mrad

距标不稳定
< 2 ns

窗口服务间隔，脉冲数
1亿
2亿
3亿

外形尺寸/重量
800L x 330W x 571H / 80kg

冷却方式

CL 5100
CL 5200/5300


风冷

水冷，<1升/分钟

电源输入
220V / 50Hz, 10А, <1kVA

气体
1预装混合气体罐

控制接口
RS 232, DOS/Windows

外形尺寸
865 x 330 x 571 mm

软件控制界面

　

2. CL-7000系列准分子激光器

应用领域

光谱学

光纤布喇格光栅制造

材料微加工

精细激光打标

激光气相沉积

技术特性

体积小，紧凑

激光功率稳定

气体使用寿命长

电脑控制

预制混合气体

ArF
KrF
XeCl

激光波长（可以157nm）
193 nm
248 nm
308 nm

放电管材料
陶瓷

预电离
火花

脉冲能量
250mJ
400mJ
300mJ

平均激光功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


5 W
10 W
20 W


10 W
20 W
35 W


6 W
15 W
25 W

最大脉冲重复率
CL 7020
CL 7050
CL 7100


20 Hz
50 Hz
100 Hz

脉宽2
17ns
20ns

脉冲能量稳定度
西格马< 2%

光斑尺寸
6 x 20 mm
6 x 21 mm
7 x 22 mm

光束发散角
1.5 x 4.5 mrad

距标不稳定
< 2 ns

窗口服务间隔，脉冲数
5000万
1亿
2亿

外形尺寸/重量
1350L x 375W x 710H / 170kg

冷却方式

CL 7020
CL 7050

CL 7100


风冷

水冷，<1升/分钟

水冷，<3升/分钟

电源输入

CL 7020
CL 7050

CL 7100
220V / 50Hz, 10А, <1.5kVA

220V / 50Hz, 10А, <1.8kVA

380/220V / 50Hz, 10А, <3.5kVA

气体
1预装混合气体罐

控制接口
RS 232, DOS/Windows

外形尺寸
1420 x 375 x 721 mm

　

3. CL-7500系列准分子激光器

应用领域

LIF光谱学

高精度微加工

技术特性
由2台CL7020或CL7050组成，配有特制光学器件和同步装置

可运行于两张波长，是“振荡级－放大级”结构形式

技术参数
激光波长, nm
248
308

脉冲能量, mJ
200
100

最高脉冲重复率, Hz
20 or 50

线宽, nm
< 0.003

　

　

　

4. CL-7000K系列准分子激光器

应用领域

材料微加工

精密微型打标

脉冲激光沉积

技术特性
最高脉冲重复率1kHz

陶瓷放电腔

激光功率稳定

气体使用寿命长

光学器件使用寿命长

电脑控制

快速光学器件替换

无油真空泵

预装混合气体罐

激光波长
193 nm
248 nm

放电室材料
陶瓷

预电离
火花

脉冲能量
24 mJ
40 mJ

激光平均功率
24 W
40 W

最高脉冲重复率
1000 Hz

脉宽 (FWHM)
14 ns
20 ns

脉冲能量稳定度
西格玛 < 2%

距标不稳定
± 2 ns

光斑尺寸 (FWHM)
5 x 16 mm

窗口服务间隔，脉冲数
3亿
5 亿

冷却方式
冷却水， < 1升/分钟

气体
1 预装混合气体罐

控制
RS 232, DOS/Windows

用电量
4.5 kW

外形尺寸/重量
1350L x 375W x 710H mm / 170 kg

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