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标题: 讨论，镀增透膜后玻璃发雾是什么原因？ [打印本页]

作者: starofage 时间: 2008-11-20 23:14
标题: 讨论，镀增透膜后玻璃发雾是什么原因？
经常遇到镀增透膜后玻璃发雾，软材料的基底，是否是基底腐蚀的缘故？

作者: fql3310 时间: 2008-11-21 12:07
片子放多久了？那就换换膜系吧，

作者: yzhuang 时间: 2008-11-21 13:50
软材料的基底如果镀ZrO2 SiO2增透膜,是很容易发雾的,不如直接来一个单层MgF2,增透效果低了一点,但什么问题都不会有

作者: lukaiyan 时间: 2008-12-2 19:57
使用什么药品，是不是氧气多了

作者: lukaiyan 时间: 2008-12-2 20:10
与氧气流量有关，氧气过多会引起这样地现象，APC、MFC控制可以交换一下，还有就是抽真空不好，机器扫除一下或把RP保养一下。我处理过这样的问题。

作者: jumiel 时间: 2008-12-22 15:39
首先检查是否玻璃清洗出了问题

作者: shjygx 时间: 2008-12-22 17:29
很多因素，建议用排除法

作者: 森林小树 时间: 2008-12-25 09:44
软材质基板易压克，洗净，镀膜都得把握好

作者: 随风2008 时间: 2008-12-30 01:48
基板若没有问题,与放氧量的关系就比较大.

作者: killjackson 时间: 2008-12-30 09:46
这是基底与第一层膜料的匹配有问题，表现就是随时间的推移发雾面积、程度会越来越重。

作者: hong 时间: 2009-2-7 22:45
与放置时间有关系，还有就是第一层膜料的选择，用mgf2,al2o3都不错

作者: vacuum0714 时间: 2009-3-20 14:40
玻璃清洗過程有問題,造成在鍍膜時逸氣形成氧化物或其他類型的膜層.建議先檢查基材表面吧

作者: jayfreeuni 时间: 2011-3-15 21:11
工作环境湿度没有控制好，成膜之前吸水了，建议加2%质量比的单丁醚试试看。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-15 21:48
学习了，还是经验比较重要

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-23 11:01
本帖最后由 Jimmy_tang 于 2011-8-23 11:02 编辑

终于找到这篇讨论镀膜发雾的帖子了。上次曾经看到过，但这次有人再询问的时候，想不起来什么地方看到了。

作者: royyang 时间: 2012-6-17 17:09
学戏

作者: 良哥 时间: 2012-6-25 11:41
基片质量和温度都有可能造成这个原因

作者: lovemannyzhu 时间: 2012-10-9 05:28
漏气得排除

作者: kkkyt 时间: 2012-10-9 10:02
片子没擦好。。

作者: rkq91 时间: 2012-10-9 21:46
回帖，是一种美德

作者: ZWP5602 时间: 2012-10-10 19:42
学习了

作者: ZWP5602 时间: 2012-10-10 19:43
再再续努力

作者: wdydede 时间: 2012-10-16 21:18
回帖，是一种美德

作者: kelvin874874 时间: 2012-10-17 08:45
基板與薄膜的不匹配

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 11:32
我遇见过这种情况，清洗的问题

作者: yeli123c 时间: 2013-7-26 15:51
本帖最后由 yeli123c 于 2013-7-26 15:53 编辑

我记得发雾的根本原因是散射。。。说白了就是几个膜层间，膜层与基片等等不平有坑洞。。。在一本书上看到的，不知道是不是忽悠人的。。

，对了，清洗，膜系，都有影响。。往那个方向想想

作者: ipshjh 时间: 2013-7-31 07:26

作者: clark007 时间: 2013-7-31 14:52
学习了

作者: lovemannyzhu 时间: 2013-8-1 23:20
基片质量和温度都有可能造成这个原因

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