光电工程师社区

标题: 急求：镀膜二氧化硅和氧化钛的多层膜，用的是光弛机器1300，出现点子问题 [打印本页]

作者: lengyu 时间: 2008-11-24 15:56
标题: 急求：镀膜二氧化硅和氧化钛的多层膜，用的是光弛机器1300，出现点子问题
用的这种机器出现白点的问题很严重，有那位高手能帮忙解决一下，？？？

作者: ZHJ7239 时间: 2008-11-25 05:55
膜料引起的，主要是SIO2，把电子枪的光斑调好一点

作者: zzzz 时间: 2008-11-25 12:46
怎样的光斑才算好尼??????????????????????????????????????????????????????????????

作者: zofy 时间: 2008-11-25 13:10
用光池机器也能出现点子,水平也太高了吧,首先要看点子是黑色还是白色,黑色是TIO2,白色是SIO2,或者擦拭液体有点状的残留,有时候洗净也有这样的现象,关键是要找出真正的原因.caicm_001@163.com .我可以解决

作者: onet7575 时间: 2008-11-26 08:48
SIO2的光斑可以大一点点,但扫描要慢些,或者不开扫描

作者: wazxq 时间: 2008-11-26 09:08
没用过光驰机，不过光洁度不是那么容易处理。进口设备的好处就是出现差机器的几率低。国内挺多光驰机器做不出好东西来。

作者: wazxq 时间: 2008-11-26 09:08
最好把图片贴出来，分析产生原因

作者: tfc 时间: 2008-11-26 14:44

原帖由 wazxq 于 2008-11-26 09:08 发表
没用过光驰机，不过光洁度不是那么容易处理。进口设备的好处就是出现差机器的几率低。国内挺多光驰机器做不出好东西来。

我有用过一天光弛，觉得是很不错的机器，做不出好东西可能原因不是机器吧？膜料质量和工艺很重要。
黑白点是蒸发工艺调整问题。但没有现场观察还不容易搞清楚。

作者: lukaiyan 时间: 2008-12-2 19:17
1.飞溅问题，请确认在镀TiO2时一般会有飞溅，可能是药品太脏，或者电子枪电流太大，在镀膜时调整EB电流大小。
2.针孔问题，注意炉内清洁。
如有问题可以联系QQ805181662

作者: JZNT 时间: 2008-12-11 14:46
9#的分析很用道理，学习了。

作者: ggll 时间: 2008-12-11 15:07
请教各位，现有一套光学系统，用于室外，会受潮、盐雾、日照等各种环境影响，波长在800-900nm，透过率要求在R<1%左右，不知是否可以镀TiO2和SiO2抵抗上述环境呢？如需要，要大致多少层呢？，请各位专家指点和建议，谢谢，在线等

作者: gxbm 时间: 2008-12-12 15:42
离子源！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

作者: my-sky 时间: 2008-12-12 17:52
TiO2容易飞溅吧，现在很多公司都把TiO2换成Ti3O5了，效果会好很多

作者: longxiulin 时间: 2010-11-17 14:44

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-9-6 16:17

zzzz 发表于 2008-11-25 12:46
怎样的光斑才算好尼??????????????????????????????????????????????????????????????

呵呵，就是。怎样的光斑算是好呢，楼主，你应该早就解决了哇，我现在也遇到了点子、雾状很朦胧的东西，救急啊，版主

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-26 10:56
估计是膜料太脏了还有坩埚也要清理一下。

作者: zouyou828459 时间: 2012-3-27 19:58

作者: tfc 时间: 2012-3-28 11:01

缘睐汝痴发表于 2011-9-6 16:17
呵呵，就是。怎样的光斑算是好呢，楼主，你应该早就解决了哇，我现在也遇到了点子、雾状很朦胧的东西，救 ...

仅回答SIO2时光斑，1.筛选等颗粒度SIO2。用大光斑，用平时蒸镀略低电流，不开扫描，蒸200NM物理厚度，观察SIO2挖坑情况，如果光斑大小与坑大小差别越小，则越好，坑内越平越好，如果观察到坑的形状很象灯丝形状，一般是灯丝过粗

作者: wdydede 时间: 2012-5-12 00:08

作者: lzh123jy 时间: 2012-5-23 23:29
我们公司就是用光驰1300系例的机台！还行！

作者: qs2784 时间: 2012-6-21 21:24
可能是离子源异常放电了吧

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-26 15:50
光斑变大不开扫描是什么意思？求助。离子源什么参数适合

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-28 16:56

tfc 发表于 2012-3-28 11:01
仅回答SIO2时光斑，1.筛选等颗粒度SIO2。用大光斑，用平时蒸镀略低电流，不开扫描，蒸200NM物理厚度，观察 ...

想问一下你用的什么镀膜机，还有就是大光斑不开扫描是什么意思啊？

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-5-5 08:52
l离子源电源电流不稳定造成的

作者: clark007 时间: 2013-6-8 13:09
光洁度问题不好说的，要一个个排除啊

作者: ghtzna 时间: 2013-6-8 14:06
只有亲自看过才会有对策我们都是纸上谈兵

作者: chongying 时间: 2013-8-3 10:24
大家好，我是做镀膜材料的新人，主要做镀铝件铝层保护膜产品，也就是所谓的硅油。希望有兴趣的朋友一起交流：QQ1030407206，电话18817532994小吴，谢谢。相比较PU光油，硅油可以耐更高温度，硅油是清澈透明液体，溅镀在铝层表面比PU光油更均匀，膜厚更薄，真空镀膜后的产品刮痕明显比PU更轻。

作者: ipshjh 时间: 2013-8-4 21:06

作者: 永远より_ながく 时间: 2013-8-21 16:57
机器的洁净程度

作者: crl0129 时间: 2013-12-7 12:31
我也来学习一下

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