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标题: 讨论下sio2在镀膜时冲o2的问题 [打印本页]

作者: yangmin 时间: 2008-12-5 12:19
标题: 讨论下sio2在镀膜时冲o2的问题
请各位同行讨论下,在镀多层介值膜时sio2冲o2对薄膜的牢固度影响有多大,

作者: noodlesy 时间: 2008-12-5 13:14
LZ相当于什么都没有说,一点都不具体,不好发表意见

作者: GR800322 时间: 2008-12-5 14:27
但就充O2来说，个人觉得对牢固度不会有多大作用的！主要是对膜料的折射率，性能稳定性作用明显！！例如：Ta2O5要是不充o2，蒸发过程中有部分会失氧变成Ta2O3。基底温度，正空度，是否用离子源等对牢固度作用明显！！！

作者: wukeyi28 时间: 2008-12-5 15:21
关注一下
以前我镀SIO2没有充吧镀TIO2充了

作者: shjygx 时间: 2008-12-5 16:56
影响真空度。

作者: chris_yun1113 时间: 2008-12-5 19:47
基本上镀氧化物都是要充氧气的。只要真空度在-3左右就可以~O2过多真空度低膜层会不牢固。

作者: lukaiyan 时间: 2008-12-7 22:08
这个好像有点是多余的动作

作者: zofy 时间: 2008-12-8 09:45
充氧气对膜强度影响非常大,尤其是截止或滤光片,充氧气多了,或造成整片或者半边膜脱落.

作者: YAMAO 时间: 2008-12-8 19:23
当然不会影响牢固度了，对折射率有点影响但是不大。影响最大就是膜厚，比如说你镀单点550就有可能镀在580或者600.。。。。

作者: gxbm 时间: 2008-12-12 15:58
没有影响。

作者: 苏州膜头 时间: 2009-4-10 14:22

当然不会影响牢固度了，对折射率有点影响但是不大。影响最大就是膜厚，比如说你镀单点550就有可能镀在580或者600.。。。。
YAMAO 发表于 2008-12-8 19:23

同意，牢固度受温度，真空度影响比较大。充氧主要为了满足工艺要求，提高成品率。

作者: 宇宙深处 时间: 2009-4-12 10:22
充O2是保证膜的纯良,充O2太多反而引起真空不好,会影响膜的附着力.

作者: guangang 时间: 2009-4-13 12:56
充不充对吸收和折射率基本上没太大区别,对附着性和飘移有一点影响

作者: AR_coating 时间: 2009-4-14 01:57
14# guangang

O2 can make sure the film is fully oxidized.
Too much O2 cause the tooling factor changes, film packing density decreases, refractive index decreases. The adhesion might also get worse.
Not enough O2 can't fully oxidize the film, so you can't get a reliable film if the film is exposed in air for a long time.

作者: tianguosky1 时间: 2009-4-14 08:08
14楼的，能不能给出结论的合理解释，谢谢！！！

作者: AR_coating 时间: 2009-4-15 01:07
16# tianguosky1

Too much O2 increases the chamber pressure, if your crystal is not located at the same height of the substrate, the tooling factor changes.

Too much O2 increases the voids inside the SiO2 film, let's say, you want N_SiO2=1.45, now you can get 90% SiO2, the left 10% is void, which is Air, so the final film's refractive index decreases (0.9*1.45+0.1*1=1.405).

Less O2 causes the film not fully oxidized, after a long time expose in the air, the O2 in the air may gradually oxidize the film and change the refractive index.

作者: riy2000 时间: 2009-4-19 00:21
充氧是肯定会对材料折射率有所改变的，但是对膜牢影响不大，除非充氧太多，真空度很低了。

作者: likesongs 时间: 2009-8-23 11:58
14#,16#说的非常好!太感谢了!

作者: YJD 时间: 2009-9-2 21:35
充氧后真空室中压强减少

作者: ipshjh2005 时间: 2011-7-13 13:09