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标题: 关于大尺寸硅片的测量 [打印本页]

作者: cuiwangbin 时间: 2008-12-5 14:45
标题: 关于大尺寸硅片的测量
各位：

我有一个直径158，厚度4mm的双面抛硅片，想测量平行度，能给些建议吗？

比如，如何测量？是否有办法测3.51um下的透射波前呢？哪里有那样的设备的啊？

谢谢！！

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