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标题: 镀膜后的面形 [打印本页]

作者: chenchen 时间: 2008-12-15 11:41
标题: 镀膜后的面形
现在镀膜对面形有较高的要求，镀膜后面形肯定会有变异，但有方法控制面形的变异吗？

作者: shjygx 时间: 2008-12-15 12:30
基底面型尽量好点，膜层数尽量少些

作者: mangovc 时间: 2008-12-16 11:26
面型的变化主要是由于膜层的应力引起的，最好能选择使用张应力和压应力匹配交替的膜系，要不选择进行退火处理。

作者: fql3310 时间: 2008-12-18 22:41
如果膜厚没办法加薄的话，可不可以用厚的基片拿去镀膜，然后再拿去切割。这里对应第二面镀增透膜，如果不是增透膜的话我看也可以试看看。

作者: jiayuch 时间: 2008-12-27 00:07
薄膜应力在某些时候确实让人头疼

作者: 森林小树 时间: 2008-12-27 09:16
尽量减小应力，层数少些。

作者: chenchenchen 时间: 2008-12-27 15:14
尽量减小应力，层数少些。

作者: 蜘蛛人 时间: 2008-12-29 07:55
镀膜后能测出面型吗？？？

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作者: zzzz 时间: 2008-12-29 08:11
当然能了
用干涉仪了

作者: ligciomp 时间: 2009-1-6 17:09
我们在这方面有一定经验,详情咨询lig@dicp.ac.cn

作者: jiayuch 时间: 2009-1-6 19:30
形变大了用干涉仪测不出来就用平晶

作者: chenchenchen 时间: 2009-1-7 14:36
如果使用的是非镀膜面可以镀后抛光.
也可以是两面镀膜.
退火是个有效的方法.

作者: mxbplayboy 时间: 2011-4-24 21:30
学习中

作者: mxbplayboy 时间: 2011-4-24 21:31
学习中

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